本文選題：傳感器 + 垂直度誤差標(biāo)定�。� 參考：《中國激光》2017年04期

【摘要】：針對高精度復(fù)合式測量機(jī)中的激光傳感器進(jìn)行了高精度的標(biāo)定,提出了利用已知底角的雙斜面標(biāo)定塊和正弦定理標(biāo)定光軸垂直度誤差偏角的方法,分析了影響標(biāo)定精度的因素。該方法避免了傳感器光軸與工作臺不垂直引入的各個方向的誤差,可有效地提高該傳感器的測量精度,為更高精度的多傳感器復(fù)合測量提供了基礎(chǔ)。
[Abstract]:In this paper, the laser sensor in high precision compound measuring machine is calibrated with high precision. The method of calibrating optical axis verticality error deviation angle by using double inclined surface calibration block with known base angle and sinusoidal theorem is put forward, and the factors influencing the calibration accuracy are analyzed. This method avoids the errors in every direction caused by the non-perpendicular direction between the optical axis and the worktable of the sensor, and can effectively improve the measuring accuracy of the sensor, and provides the basis for the multisensor composite measurement with higher accuracy.
【作者單位】： 天津大學(xué)精密測試技術(shù)及儀器國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中國計量科學(xué)研究院;
【基金】：國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(2013YQ17053903)
【分類號】：TP212

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本文編號：2059635