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基于平面線圈線陣的直線時(shí)柵位移傳感器

發(fā)布時(shí)間:2018-06-18 00:08

  本文選題:直線位移傳感器 + 齒槽。 參考:《儀器儀表學(xué)報(bào)》2017年01期


【摘要】:針對(duì)現(xiàn)有磁場(chǎng)式直線時(shí)柵位移傳感器行波磁場(chǎng)產(chǎn)生過程中,齒槽的存在影響行波磁場(chǎng)的勻速性,提出基于平面線圈線陣的直線時(shí)柵位移傳感器。無齒槽的結(jié)構(gòu)形式提高了行波磁場(chǎng)的勻速性,可實(shí)現(xiàn)大極距下的高精度測(cè)量。傳感器將施加正交信號(hào)的兩相勵(lì)磁線圈相間排列形成平面線圈線陣,產(chǎn)生的行波磁場(chǎng)通過磁場(chǎng)拾取線圈感應(yīng)出電行波信號(hào),處理后得到位移量。通過電磁場(chǎng)分析軟件對(duì)傳感器進(jìn)行建模仿真,根據(jù)仿真結(jié)果得到測(cè)量誤差;通過理論分析對(duì)測(cè)量誤差進(jìn)行分析溯源,并根據(jù)分析結(jié)果對(duì)傳感器結(jié)構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化;诜治龊蛢(yōu)化結(jié)果研制出傳感器樣機(jī),并進(jìn)行了精度實(shí)驗(yàn)。實(shí)驗(yàn)表明,傳感器在240 mm內(nèi)測(cè)量精度為±1μm,實(shí)現(xiàn)了精密測(cè)量。
[Abstract]:A linear time-grating displacement sensor based on planar coil linear array is proposed in view of the influence of tooth slot on the uniformity of traveling wave magnetic field in the process of generation of traveling wave magnetic field. The structure without tooth groove improves the uniformity of traveling wave magnetic field and can realize high precision measurement under large polar distance. The sensor arranges the two phase excitation coils with orthogonal signal to form a planar coil linear array, and the generated traveling wave magnetic field induces the electric traveling wave signal through the magnetic field pickup coil, and the displacement is obtained after processing. The sensor is modeled and simulated by the electromagnetic field analysis software, and the measurement error is obtained according to the simulation results. The measurement error is analyzed and traced through the theoretical analysis, and the sensor structure is optimized according to the analysis results. Based on the analysis and optimization results, the sensor prototype is developed, and the precision experiment is carried out. The experimental results show that the precision of the sensor is 鹵1 渭 m in 240 mm.
【作者單位】: 重慶理工大學(xué)機(jī)械檢測(cè)技術(shù)與裝備教育部工程研究中心;
【基金】:國(guó)家自然科學(xué)基金(51405049,51505052) 重慶市科技研發(fā)基地能力提升計(jì)劃(cstc2014pt-sy40002)項(xiàng)目資助
【分類號(hào)】:TP212

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本文編號(hào):2033067

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