本文選題：電容式薄膜真空壓力傳感器 + 零點(diǎn)漂移��； 參考：《傳感器與微系統(tǒng)》2017年03期

【摘要】：為了滿足在工程型號(hào)上的使用要求,解決真空壓力傳感器敏感探頭殼體與傳感器殼體隔離絕緣問(wèn)題;傳感器輸出信號(hào)非線性的補(bǔ)償問(wèn)題;傳感器熱零點(diǎn)漂移的全電路的溫度補(bǔ)償問(wèn)題,采用電容式薄膜封裝結(jié)構(gòu),殼體為電容的另一極,在0.1~100 Pa的范圍內(nèi)進(jìn)行了校準(zhǔn)測(cè)試,實(shí)現(xiàn)了傳感器0.2%FS的測(cè)量精度。
[Abstract]:In order to meet the requirements of application in engineering model, the problem of isolating the sensitive probe shell and the sensor shell of the vacuum pressure sensor is solved, and the nonlinear compensation of the output signal of the sensor is also discussed. The temperature compensation problem of the whole circuit for the thermal zero drift of the sensor is discussed. The capacitive film packaging structure and the shell is the other pole of the capacitance. The calibration test is carried out in the range of 0.1 ~ 100Pa, and the measuring accuracy of the sensor is achieved.
【作者單位】： 中國(guó)電子科技集團(tuán)公司第四十九研究所;
【分類號(hào)】：TP212

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本文編號(hào)：1980086