本文選題：薄膜諧振型Lamb波傳感器 + 消逝波　； 參考：《光學(xué)精密工程》2017年01期

【摘要】：針對(duì)液體流速測(cè)量領(lǐng)域中微型流量傳感器高品質(zhì)因數(shù)、高靈敏度的性能要求。本文設(shè)計(jì)一種雙端增強(qiáng)型薄膜諧振結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)Lamb波傳感器的高品質(zhì)因數(shù),利用傳感器反對(duì)稱模式(A01模式)在薄膜-液體界面處的消逝波實(shí)現(xiàn)液體流速矢量測(cè)量。所制作的雙端增強(qiáng)型薄膜諧振Lamb傳感器A01模式的主峰品質(zhì)因數(shù)為703,A01模式的頻率移動(dòng)量與液體流速大小存在線性關(guān)系,頻率移動(dòng)方向與液體流動(dòng)方向存在對(duì)應(yīng)關(guān)系。流速實(shí)測(cè)靈敏度約為270 Hz/mm/s,傳感器穩(wěn)定性噪聲小于0.2Hz,流速最低檢測(cè)極限值(LOD)為2.2μm/s,流量最低檢測(cè)極限值(LOD)為18.3nL/min。結(jié)果表明,雙端增強(qiáng)型薄膜諧振Lamb波傳感器可以實(shí)現(xiàn)液體流速高靈敏度矢量測(cè)量。
[Abstract]:The performance requirements of micro flow sensors in liquid flow measurement field are high quality factor and high sensitivity. In this paper, a two-terminal enhanced thin film resonant structure is designed to realize the high quality factor of Lamb wave sensor. The disappearing wave at the thin-liquid interface is used to realize the measurement of liquid velocity vector by using the anti-symmetric mode A01 mode of the sensor. The main peak quality factor of the two-terminal enhanced thin film resonant Lamb sensor A01 is the linear relationship between the frequency movement and the liquid flow velocity, and the relationship between the frequency movement direction and the liquid flow direction. The measured sensitivity of flow velocity is about 270 Hz / mm / s, the stability noise of the sensor is less than 0.2 Hz, the lowest detection limit of velocity is 2.2 渭 m / s, and the lowest detection limit of flow rate is 18.3nL / min. The results show that the dual end enhanced thin film resonant Lamb wave sensor can realize the high sensitivity vector measurement of liquid velocity.
【作者單位】： 上海大學(xué)機(jī)電工程與自動(dòng)化學(xué)院;中國(guó)科學(xué)院蘇州生物醫(yī)學(xué)工程技術(shù)研究所;
【基金】：國(guó)家863高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃資助項(xiàng)目(No.2015AA042603)
【分類(lèi)號(hào)】：TP212

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：1830759