本文關(guān)鍵詞：陶瓷微板熱隔離半導(dǎo)體氣體傳感器陣列設(shè)計與實現(xiàn)

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【摘要】：具有高濃度、揮發(fā)性、強氧化性的液氯、氮氧化物等�；沸孤�、爆炸的安全檢測一直是一個難點問題,要求檢測傳感器具有較寬量程和抗腐蝕設(shè)計�；贏l N陶瓷的微熱板半導(dǎo)體氣體傳感器陣列設(shè)計,采用耐腐蝕的Al N陶瓷為襯底,物理化學(xué)性能穩(wěn)定的Pt膜作為信號和加熱器電極,經(jīng)雜化修飾的In-Nb復(fù)合半導(dǎo)體氧化物為敏感材料,結(jié)合柔性光刻剝離工藝和激光微加工工藝,制備了陶瓷微板熱隔離氣體傳感器陣列。為驗證傳感器陣列熱結(jié)構(gòu)設(shè)計的合理性,進行了有限元熱仿真分析,優(yōu)化了設(shè)計結(jié)構(gòu)。經(jīng)靜態(tài)氣敏測試分析,傳感器陣列對濃度體積比500×10~(-6)的Cl_2和100×10~(-6)的NO_2兩種氣體的氣敏響應(yīng)時間分別為30 s和60 s左右,靈敏度最高分別為275倍和4倍,且在0~500×10~(-6)和0~100×10~(-6)檢測范圍均具有良好的氣敏特性,對Cl_2等高濃度寬量程�；窔怏w檢測具有良好的應(yīng)用前景。
【作者單位】： 哈爾濱理工大學(xué)測控技術(shù)與儀器黑龍江省高校重點實驗室;哈爾濱理工大學(xué)黑龍江省電介質(zhì)工程國家重點實驗室培育基地;
【基金】：國家自然科學(xué)青年基金(61501149) 黑龍江省青年基金(QC2013C059) 黑龍江省教育廳科技項目(12541141) 哈爾濱市青年后備人才(2015RQQXJ041)項目資助
【分類號】：TP212
【正文快照】： 1引言基于微機電系統(tǒng)(micro-electro-mechanical system,MEMS)工藝技術(shù)的微熱板式氣體傳感器具有微型化、低功耗、批量化等特點,其應(yīng)用與發(fā)展已經(jīng)成為氣體傳感器領(lǐng)域重要研究方向[1-2]。MEMS微熱板半導(dǎo)體氣體傳感器及其陣列中主要有兩個關(guān)鍵要素,即微熱板的熱結(jié)構(gòu)設(shè)計和半導(dǎo)體

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本文編號：1297294