本文關(guān)鍵詞：多線切割機張力控制系統(tǒng)的分析與校正

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【摘要】：針對原多線切割機設(shè)計中控制系統(tǒng)穩(wěn)定性差的問題,建立了張力控制系統(tǒng)的模型,分析了鋼絲拉伸變形對于控制系統(tǒng)穩(wěn)定性的影響,提出了新的用于產(chǎn)生鋼絲張力的伺服電機的轉(zhuǎn)矩控制方案,并通過理論分析和實際使用證明,改進后的控制方法有效提高了張力控制系統(tǒng)的穩(wěn)定性,滿足了設(shè)備的使用要求。
【作者單位】： 中國電子科技集團公司第四十五研究所;
【基金】：國家02科技重大專項“硅材料設(shè)備應(yīng)用工程”(2009ZX02011-002A)支持項目
【分類號】：TP273
【正文快照】： 多線切割機是一種用于半導(dǎo)體材料及脆硬材料切割的設(shè)備,和傳統(tǒng)的切片機相比,多線切割機具有生產(chǎn)效率高、材料損耗少的優(yōu)點,同時,所加工的硅片具有彎曲度小、翹曲度小、表面損傷層淺及表面粗糙度值小等優(yōu)點,是目前半導(dǎo)體材料加工的關(guān)鍵設(shè)備。但同時,多線切割機也是一種復(fù)雜的設(shè)

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