本文關鍵詞：基于ZnO單晶聲表面波壓力傳感器的特性研究

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【摘要】：基于聲表面波(SAW)理論以及SAW諧振器的結構和工作原理,設計了一種基于聲表面波(SAW)諧振式壓力傳感器。采用有限元軟件COMSOL Multiphysics對ZnO單晶聲表面波諧振器進行建模和仿真,提出符合聲表面波振型的對稱模態(tài)和反對稱模態(tài),計算出ZnO單晶的相速度為3 237.31 m/s。討論了ZnO基底厚度對此壓力傳感器的相速度的影響,得出ZnO基底厚度越大,相速度越小。最后通過加載0~1 000 kg/m~2的質量塊來模擬不同的壓力對器件的頻率響應的影響,結果顯示壓力的變化與諧振頻率二者具有良好的負相關線性關系。通過擬合得出線性表達式。
【作者單位】： 南京郵電大學光電工程學院;南京郵電大學Peter
【基金】：國家自然科學基金資助項目(61274121,61574080)
【分類號】：TP212
【正文快照】： 0引言聲表面波(Surface Acoustic Wave,SAW)壓力傳感器所特有的高頻特性及器件基片材料的壓電、逆壓電效應,使其與傳統(tǒng)壓力傳感器相比,具有測量精度高、抗干擾性強、微型、無源無線及成本低等優(yōu)點,適用于易燃、易爆、密閉等特定環(huán)境下的遙測與傳感[1]。因此對于SAW壓力傳感器

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本文編號：1210373