本文關鍵詞：波紋膜片式光纖法布里-珀羅壓力傳感器

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【摘要】：設計并研制了一種新型的波紋膜片式光纖法布里-珀羅壓力傳感器,運用仿真軟件對波紋膜片進行膜片參數(shù)的優(yōu)化,完成了波紋膜片式法布里-珀羅壓力傳感器的結(jié)構(gòu)設計與制備,同時用搭建的微壓傳感器測試系統(tǒng)對壓力傳感器進行了測試。實驗結(jié)果表明,本傳感器在0~0.1 MPa的壓力范圍內(nèi),線性度好,重復性好,靈敏度高。
【作者單位】： 南京師范大學物理科學與技術學院江蘇省光電技術重點實驗室;
【基金】：國家自然科學基金(61178044) 江蘇省普通高校研究生實踐創(chuàng)新培養(yǎng)工程(KYLX_0723,SJLX15_0297)
【分類號】：TP212
【正文快照】： 1引言光纖壓力傳感器具有抗輻射、抗電磁干擾、耐高溫、耐腐蝕、靈敏度高等優(yōu)點[1-3],適合用于工程建設、石油鉆井、大型變電設備等高輻射、高電磁干擾、高溫高壓等極端環(huán)境。為了更安全、準確、便捷地獲取傳感器的壓力信息,提高測量精度,需要開發(fā)新的材料或進行新的結(jié)構(gòu)設計[

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