新型離軸反射變焦距光學(xué)系統(tǒng)的多視場(chǎng)檢測(cè)方法
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【摘要】:基于對(duì)離軸反射變焦距光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行計(jì)算機(jī)輔助裝調(diào)研究,需要檢測(cè)離軸反射變焦距系統(tǒng)各個(gè)視場(chǎng)的波像差,除零度視場(chǎng)外,獲得包括其他視場(chǎng)的波像差有助于提高計(jì)算機(jī)輔助裝調(diào)的準(zhǔn)確性,但是目前已有的波像差檢測(cè)方法往往只能獲得系統(tǒng)零度視場(chǎng)的波像差.本文針對(duì)這個(gè)難題提出了一種檢測(cè)離軸反射變焦距光學(xué)系統(tǒng)各個(gè)視場(chǎng)波像差的方法,并應(yīng)用于離軸三反變焦距光學(xué)系統(tǒng)的各視場(chǎng)波像差仿真檢測(cè).該方法在傳統(tǒng)自準(zhǔn)直干涉法的基礎(chǔ)上進(jìn)行改進(jìn),關(guān)鍵在于采用變形鏡代替掃描的平面鏡,并采用夏克-哈特曼波前傳感器代替干涉儀,配合精確標(biāo)定的激光器光源陣列,可以實(shí)現(xiàn)對(duì)離軸三反變焦距光學(xué)系統(tǒng)的多視場(chǎng)波像差同時(shí)檢測(cè).由理論分析和仿真模擬得出,該系統(tǒng)在視場(chǎng)(0~?,3~?),(0~?,4.2~?),(0~?,5.5~?),(0~?,7~?),(0~?,9.8~?),(0~?,14~?)處經(jīng)過(guò)變形鏡補(bǔ)償后的剩余波像差的RMS值分別為0.00039λ,0.00075λ,0.0024λ,0.00017λ,0.00053λ,0.0057λ,分析仿真結(jié)果表明此檢測(cè)方案是可行的,且適用于離軸反射變焦距系統(tǒng)的計(jì)算機(jī)輔助裝調(diào)技術(shù)的研究.
【作者單位】: 北京理工大學(xué)光電學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】: 光學(xué)系統(tǒng)波像差檢測(cè) 計(jì)算機(jī)輔助裝調(diào) 夏克-哈特曼波前傳感器 離軸反射變焦距系統(tǒng)
【基金】:國(guó)家自然科學(xué)基金(批準(zhǔn)號(hào):61178041)資助的課題~~
【分類號(hào)】:TP391.7;TP212
【正文快照】: 基于對(duì)離軸反射變焦距光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行計(jì)算機(jī)輔助裝調(diào)研究,需要檢測(cè)離軸反射變焦距系統(tǒng)各個(gè)視場(chǎng)的波像差,除零度視場(chǎng)外,獲得包括其他視場(chǎng)的波像差有助于提高計(jì)算機(jī)輔助裝調(diào)的準(zhǔn)確性,但是目前已有的波像差檢測(cè)方法往往只能獲得系統(tǒng)零度視場(chǎng)的波像差.本文針對(duì)這個(gè)難題提出了一種檢
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,本文編號(hào):1122968
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