本文關(guān)鍵詞：電阻型半導(dǎo)體甲醛傳感器研究進(jìn)展

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【摘要】：甲醛是潛在致癌物和重要的環(huán)境污染物。電阻型半導(dǎo)體甲醛傳感器因靈敏度高、工藝簡(jiǎn)單、操作方便、體積小而成為研究熱點(diǎn)。從電阻型半導(dǎo)體甲醛傳感器的氣敏材料和器件結(jié)構(gòu)兩個(gè)方面展開(kāi)分析,研究了國(guó)內(nèi)外有代表性的最新研究成果,并展望了未來(lái)的發(fā)展方向。
【作者單位】： 遼寧大學(xué)物理學(xué)院;遼寧大學(xué)信息學(xué)院;遼寧大學(xué)計(jì)算中心;
【關(guān)鍵詞】： 甲醛 傳感器 靈敏度
【分類(lèi)號(hào)】：TP212.2
【正文快照】： 0引言甲醛(HCHO)是一種無(wú)色易溶的氣體,能致癌、致畸,是最重要的污染物之一[1]。傳統(tǒng)的甲醛的檢測(cè)方法如氣相色譜、質(zhì)譜、FTIR分析等,成本高,耗時(shí),且不能實(shí)時(shí)進(jìn)行檢測(cè)。當(dāng)前市場(chǎng)上的甲醛檢測(cè)儀多是電化學(xué)甲醛傳感器,價(jià)格不菲。電阻型半導(dǎo)體甲醛傳感器[2~14]因制作簡(jiǎn)單、操作方

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前4條

1 靳雅靜;計(jì)算機(jī)在電阻型器件生產(chǎn)測(cè)試中的應(yīng)用[J];現(xiàn)代電子技術(shù);1994年03期

2 暢世聰;電阻型傳感器三線(xiàn)制接法探討[J];儀表技術(shù);1998年04期

3 任致程;怎樣選用元器件講座(三十)——電阻型結(jié)露傳感器[J];家庭電子;1999年06期

4 ;[J];;年期

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本文編號(hào)：1025400