本文關鍵詞：光刻物鏡中光學元件精密軸向調(diào)整機構的設計與分析

  更多相關文章： 光刻物鏡 光學元件 精密軸向調(diào)節(jié) 面形分析 柔順鉸鏈 固有頻率特性

【摘要】：柔性鉸鏈與高準確度驅(qū)動器的結合是實現(xiàn)光學元件軸向精密調(diào)節(jié)的重要方法.本文介紹了一種采用柔性鉸鏈的軸向精密調(diào)節(jié)機構,推導并得出了其實現(xiàn)精密調(diào)節(jié)的原理.通過對應用柔性調(diào)節(jié)機構的一種典型光機系統(tǒng)的剛度分析,得到在不超過柔性鉸鏈材料屈服應力情況下,光學元件的最大軸向位移可以達到200μm以上;同時,對一種典型參量的柔性結構做了模態(tài)分析,得到其一階固有頻率為185.1Hz,證明了調(diào)節(jié)機構的固有頻率滿足工作要求.分析了驅(qū)動力在此種軸向調(diào)整機構中對鏡片面形的影響,結果表明:調(diào)整機構在接近最大允許驅(qū)動力作用下對鏡片面形影響為4.41nm,說明其對光學元件的面形影響較小.該研究結果為柔性光學元件軸向調(diào)節(jié)機構的應用提供了有力依據(jù).
【作者單位】： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所應用光學國家重點實驗室;
【關鍵詞】： 光刻物鏡 光學元件 精密軸向調(diào)節(jié) 面形分析 柔順鉸鏈 固有頻率特性
【基金】：國家重大專項基金(No.2009ZX02205)資助
【分類號】：TH74
【正文快照】： 0引言近年來,隨著科技的發(fā)展和社會的進步,對微電子加工產(chǎn)業(yè)的要求也越來越高.光刻機作為微電子電路生產(chǎn)線的核心裝備之一,起著至關重要的作用[1],同時,其各光學元件的軸向和徑向調(diào)節(jié)行程、準確度等都1-5002240有著極其苛刻的要求.由于在投影物鏡工作過程中,需對光學元件進行

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