本文關(guān)鍵詞：光刻物鏡中光學(xué)元件精密軸向調(diào)整機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)與分析

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【摘要】：柔性鉸鏈與高準(zhǔn)確度驅(qū)動(dòng)器的結(jié)合是實(shí)現(xiàn)光學(xué)元件軸向精密調(diào)節(jié)的重要方法.本文介紹了一種采用柔性鉸鏈的軸向精密調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu),推導(dǎo)并得出了其實(shí)現(xiàn)精密調(diào)節(jié)的原理.通過(guò)對(duì)應(yīng)用柔性調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的一種典型光機(jī)系統(tǒng)的剛度分析,得到在不超過(guò)柔性鉸鏈材料屈服應(yīng)力情況下,光學(xué)元件的最大軸向位移可以達(dá)到200μm以上;同時(shí),對(duì)一種典型參量的柔性結(jié)構(gòu)做了模態(tài)分析,得到其一階固有頻率為185.1Hz,證明了調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的固有頻率滿足工作要求.分析了驅(qū)動(dòng)力在此種軸向調(diào)整機(jī)構(gòu)中對(duì)鏡片面形的影響,結(jié)果表明:調(diào)整機(jī)構(gòu)在接近最大允許驅(qū)動(dòng)力作用下對(duì)鏡片面形影響為4.41nm,說(shuō)明其對(duì)光學(xué)元件的面形影響較小.該研究結(jié)果為柔性光學(xué)元件軸向調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)的應(yīng)用提供了有力依據(jù).
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國(guó)家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 光刻物鏡 光學(xué)元件 精密軸向調(diào)節(jié) 面形分析 柔順鉸鏈 固有頻率特性
【基金】：國(guó)家重大專項(xiàng)基金(No.2009ZX02205)資助
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： 0引言近年來(lái),隨著科技的發(fā)展和社會(huì)的進(jìn)步,對(duì)微電子加工產(chǎn)業(yè)的要求也越來(lái)越高.光刻機(jī)作為微電子電路生產(chǎn)線的核心裝備之一,起著至關(guān)重要的作用[1],同時(shí),其各光學(xué)元件的軸向和徑向調(diào)節(jié)行程、準(zhǔn)確度等都1-5002240有著極其苛刻的要求.由于在投影物鏡工作過(guò)程中,需對(duì)光學(xué)元件進(jìn)行

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本文編號(hào)：998966