本文關(guān)鍵詞：基于AFM氮化硅探針刻蝕方法制作聚碳酸酯納米光柵

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【摘要】：基于原子力顯微鏡(AFM)探針的納米機(jī)械刻蝕技術(shù)以其成本低、分辨率高的優(yōu)勢(shì)被廣泛應(yīng)用于各種納米元器件的制造中.為了得到最優(yōu)的光柵結(jié)構(gòu),首先通過單次刻蝕實(shí)驗(yàn)定量分析了刻蝕方向、加載力和刻蝕速率等3個(gè)主要加工參數(shù)對(duì)所得納米溝槽形貌和尺寸的影響,給出了普通氮化硅探針對(duì)聚碳酸酯(PC)的加工特性及加工效率.然后通過改變溝槽間距(100~500 nm)得到了不同周期的納米光柵結(jié)構(gòu),并確定了這種探針與樣品的組合對(duì)間距的要求及最佳加工參數(shù):沿垂直于微懸臂長軸向右刻蝕,加載力2.3μN(yùn),刻蝕速率2.6μm/s.最后利用該技術(shù)對(duì)實(shí)驗(yàn)室已有原子光刻技術(shù)所得周期為213 nm的一維Cr原子光柵結(jié)構(gòu)進(jìn)行了復(fù)制加工,得到了均勻的213 nm一維光柵,證明這種基于AFM探針的納米機(jī)械刻蝕技術(shù)可被廣泛應(yīng)用于納米加工.
【作者單位】： 同濟(jì)大學(xué)物理科學(xué)與工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 原子力顯微鏡 微納加工 機(jī)械加工性 納米光柵
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(10804084,91123022) 中國科學(xué)院納米器件與應(yīng)用重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室開放基金資助項(xiàng)目(14CS01)
【分類號(hào)】：TH742
【正文快照】： 由電子束刻蝕、反應(yīng)離子刻蝕[1]、全息術(shù)等傳統(tǒng)工藝制作的納米光柵被廣泛用于包括激光器、單色儀、光波導(dǎo)耦合器、光譜儀、波分復(fù)用器件等光學(xué)儀器中,但這些傳統(tǒng)工藝普遍存在加工極限,且工藝復(fù)雜,成本較高,制約著納米光柵的進(jìn)一步應(yīng)用.因此,有必要研究一種高分辨率、低成本、

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前4條

1 張鳴;張偉;華心;謝惠民;陳鵬萬;黃風(fēng)雷;;AFM制作納米光柵技術(shù)研究[J];光學(xué)技術(shù);2006年03期

2 于百英;莊其仁;阮思旭;;采用模壓技術(shù)的聚合物矩形光柵制作[J];華僑大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2007年02期

3 于海波;董再勵(lì);李文榮;;基于原子力顯微鏡的碳納米管焊接[J];納米技術(shù)與精密工程;2010年03期

4 陳靜;石劍;劉正堂;DECANINI Dominique;HAGHIRI-GOSNET Anne-Marie;;軟膜紫外光固化納米壓印中Amonil光刻膠的刻蝕參數(shù)優(yōu)化(英文)[J];納米技術(shù)與精密工程;2012年01期

【共引文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 趙波;齊紅霞;孟躍紅;;碳納米管與外電路的連接技術(shù)進(jìn)展[J];微納電子技術(shù);2011年06期

2 任曉榮;孫騰;;在儀器分析課中開設(shè)原子力顯微鏡實(shí)驗(yàn)的探討[J];廣州化工;2013年16期

3 孟嶺超;曾永彬;曲寧松;朱荻;;碳納米管工具電極的導(dǎo)電性能[J];光學(xué)精密工程;2014年03期

4 戴文海;趙艮春;陳唐榮;莊其仁;;塑料相位光柵型波分復(fù)用/解復(fù)用器的設(shè)計(jì)[J];華僑大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2012年02期

5 陳唐榮;趙艮春;戴文海;莊其仁;;用衍射效率比測(cè)浮雕矩形光柵參量[J];華僑大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2012年03期

6 趙翠翠;倪爭技;張大偉;黃元申;;刻劃光柵制造技術(shù)研究進(jìn)展[J];激光雜志;2010年06期

7 徐林華;顧斌;黃余改;;大學(xué)物理中開設(shè)原子力顯微鏡相關(guān)實(shí)驗(yàn)初探[J];江蘇教育學(xué)院學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2011年04期

8 林寶卿;翟云;莊其仁;;低偏振相關(guān)損耗塑料矩形相位光柵的實(shí)驗(yàn)研究[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2013年03期

9 車玉彩;莊其仁;智佳軍;;光學(xué)生物芯片梯形聚合物光柵的優(yōu)化設(shè)計(jì)[J];華僑大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2013年04期

10 黃艷;周永輝;朱保昆;趙禎霞;;五種香氣分子在活性炭上的脫附活化能[J];華中科技大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2013年10期

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前8條

1 孫麗波;微板多物理場(chǎng)耦合非線性動(dòng)力學(xué)研究[D];燕山大學(xué);2011年

2 張俊杰;基于分子動(dòng)力學(xué)的晶體銅納米機(jī)械加工表層形成機(jī)理研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2011年

3 周成剛;二維零位光柵原理及其實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)研究[D];中國科學(xué)技術(shù)大學(xué);2007年

4 彭平;基于AFM的微納尺度模板加工技術(shù)研究[D];華中科技大學(xué);2010年

5 石發(fā)展;基于金剛石室溫固態(tài)單自旋體系的微觀磁共振實(shí)驗(yàn)研究[D];中國科學(xué)技術(shù)大學(xué);2013年

6 鞠濤;機(jī)器人輔助生物細(xì)胞光學(xué)操作中運(yùn)動(dòng)規(guī)劃[D];中國科學(xué)技術(shù)大學(xué);2013年

7 吳競萍;人工髖關(guān)節(jié)磨粒特征及磨損機(jī)理研究[D];武漢理工大學(xué);2013年

8 葉春洪;Layer-by-layer自組裝蠶絲蛋白微結(jié)構(gòu)的制備與響應(yīng)性能研究[D];南京林業(yè)大學(xué);2013年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 倪坤;雙圓錐形圓弧刀刻劃衍射光柵的槽形控制研究[D];長春理工大學(xué);2011年

2 彭文強(qiáng);聚合物光波導(dǎo)超精密模制技術(shù)研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2010年

3 蘇慶梅;碳納米管及其復(fù)合材料的新合成方法與性能研究[D];浙江師范大學(xué);2011年

4 謝文廣;利用電尋址空間光調(diào)制器實(shí)現(xiàn)云紋條紋的倍增[D];黑龍江大學(xué);2007年

5 馬介淵;衍射光柵的光刻工藝研究[D];西安理工大學(xué);2008年

6 劉暢;基于AFM和ICP制備高深寬比微納溝槽結(jié)構(gòu)的實(shí)驗(yàn)研究[D];華中科技大學(xué);2009年

7 姜偉平;長壽命衍射光柵金剛石刻劃刀具設(shè)計(jì)方法研究[D];長春理工大學(xué);2012年

8 王竹林;數(shù)字采樣云紋法及其應(yīng)用[D];大連理工大學(xué);2013年

9 張方圓;血清白蛋白及多肽與小分子的相互作用研究及納米材料在其中的應(yīng)用[D];南昌大學(xué);2013年

10 熊智勇;卷煙中香精緩釋材料的研制[D];華南理工大學(xué);2013年

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 鞠揮,吳一輝,王立鼎;硅光柵的制作與應(yīng)用[J];微納電子技術(shù);2002年02期

2 李澤全;李靜;張?jiān)茟?張懷;肖鵬;喬雷;;碳納米管-DNA生物傳感器的性能及其對(duì)對(duì)苯二酚的檢測(cè)[J];材料導(dǎo)報(bào);2008年S2期

3 宮建茹,萬立駿,白春禮;掃描探針納米加工技術(shù)的現(xiàn)狀與發(fā)展趨勢(shì)[J];大學(xué)化學(xué);2003年01期

4 黃欽文;吳軍;陳大鵬;陳永勝;葉甜春;;真空退火對(duì)碳納米管電子特性的影響[J];電子器件;2008年02期

5 巴音賀希格,齊向東,唐玉國;矩形光柵衍射效率的一般表達(dá)式及其缺級(jí)現(xiàn)象[J];光電子·激光;2003年10期

6 藍(lán)斕,張平,吳震;位相光柵衍射圖樣識(shí)別算法研究[J];光學(xué)與光電技術(shù);2003年05期

7 馬軍山;基于短波長紫外激光的光學(xué)元件成形[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2001年08期

8 王順權(quán),周常河,茹華一,張妍妍;感應(yīng)耦合等離子體技術(shù)用于熔融石英表面凹凸光柵的刻蝕[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2004年11期

9 朱守星,丁建寧,蔡蘭,楊繼昌;基于AFM納米加工機(jī)理和方法的研究進(jìn)展[J];江蘇大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2002年03期

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