本文關(guān)鍵詞：基于雙頻激光干涉儀大載荷納米微動(dòng)臺(tái)的研制

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【摘要】：在超精密加工制造等領(lǐng)域,為了滿(mǎn)足大質(zhì)量工件的超精密進(jìn)給定位應(yīng)用需求,設(shè)計(jì)并研制了一種大載荷應(yīng)用情況下的納米級(jí)精密定位平臺(tái)。該納米微動(dòng)承載臺(tái)采用雙閉式氣浮導(dǎo)軌,由壓電陶瓷致動(dòng)器結(jié)合柔性鉸鏈提供驅(qū)動(dòng),通過(guò)雙頻激光干涉儀實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)終端承載臺(tái)位移并實(shí)現(xiàn)閉環(huán)反饋控制,有效地克服了壓電陶瓷致動(dòng)器的非線(xiàn)性和遲滯效應(yīng),并消除了系統(tǒng)由于剛度不足而產(chǎn)生的不確定性干擾。在傳統(tǒng)純?nèi)嵝糟q鏈傳動(dòng)機(jī)構(gòu)上增設(shè)了雙氣浮導(dǎo)軌承載臺(tái),增強(qiáng)了系統(tǒng)的載荷能力,氣浮均化效應(yīng)也提高了系統(tǒng)進(jìn)給運(yùn)行的直線(xiàn)性,雙頻激光干涉儀取代電容式或電阻式位移傳感器的應(yīng)用,從理論上擴(kuò)展了行程,保證了平臺(tái)進(jìn)給的定位精度和長(zhǎng)期穩(wěn)定性。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,在載荷為100 kg情況下,定位精度達(dá)±2 nm,行程大于10μm。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院長(zhǎng)春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;中國(guó)科學(xué)院蘇州生物醫(yī)學(xué)工程技術(shù)研究所;
【關(guān)鍵詞】： 壓電陶瓷 納米定位 氣浮導(dǎo)軌 激光干涉儀
【分類(lèi)號(hào)】：TH744.3
【正文快照】： 0引言納米級(jí)微定位技術(shù)在當(dāng)今尖端工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域占有極其重要的地位,高分辨率、高可靠性且納米級(jí)高精度的微動(dòng)平臺(tái),可單獨(dú)工作或者配合其他設(shè)備和儀器完成系統(tǒng)級(jí)的高精度任務(wù)[1-2]。壓電陶瓷具有體積小、分辨率高、頻響快以及沒(méi)有發(fā)熱問(wèn)題等優(yōu)點(diǎn),被廣泛應(yīng)用于各種精

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