本文關鍵詞：一種高Q值高階ΣΔ加速度計接口電路

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【摘要】：由于具有較低的機械熱噪聲,高Q值加速度計在高精度低噪聲信號檢測領域應用廣泛。在過采樣率相對不高的情況下,針對低階結構的高Q值加速度計接口電路性能受限于量化噪聲的問題,提出了一種高階結構的高Q值閉環(huán)ΣΔ加速度計接口電路,大大降低了數(shù)字接口電路基帶內的量化噪聲。為了保證該高階系統(tǒng)的穩(wěn)定性,設計了一種前置補償器電路來提高電學阻尼。測試結果表明,該高Q值高階結構系統(tǒng)穩(wěn)定,相對于二階結構而言對量化噪聲的抑制能力大大提高。
【作者單位】： 齊齊哈爾大學通信與電子工程學院;哈爾濱工業(yè)大學航天學院;
【關鍵詞】： 高Q值 高階 加速度計 Σ-Δ
【基金】：黑龍江省教育廳科學研究項目(12521603)
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： 0引言因為Sigma-delta(Σ-Δ)MEMS微機械加速度計具有尺寸小、功耗低、可靠性高等特點,在國防軍事領域和民用市場都得到了廣泛的應用[1]。高性能的加速度計一般采用高品質因數(shù)(Q)的傳感器結構,在真空環(huán)境下具有較低的機械熱噪聲,靈敏度也較高,然而高Q值的加速度計具有不穩(wěn)定、

【參考文獻】

中國博士學位論文全文數(shù)據庫 前1條

1 劉云濤;電容式SIGMA-DELTA微加速度計接口ASIC芯片研究[D];哈爾濱工業(yè)大學;2010年

【共引文獻】

中國碩士學位論文全文數(shù)據庫 前4條

1 王興華;單片三軸微加速度計關鍵技術研究[D];國防科學技術大學;2011年

2 馬滄海;紫外光輔助低溫硅片直接鍵合研究[D];華中科技大學;2008年

3 劉亮;Sigma Delta數(shù)字加速度計中諧波失真分析及優(yōu)化[D];哈爾濱工業(yè)大學;2014年

4 周佳駿;Sigma-delta數(shù)字加速度計中噪聲測試分析及優(yōu)化[D];哈爾濱工業(yè)大學;2014年

【二級參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據庫 前1條

1 李軍俊,劉理天,楊景銘;新型硅微加速度傳感器的設計與制作[J];清華大學學報(自然科學版);1999年S1期

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據庫 前10條

1 顧英,趙連元;微硅加速度計技術綜述[J];飛航導彈;2002年09期

2 于治會;關于加速度計參數(shù)的選定[J];航空兵器;2002年06期

3 馬欣龍,王永梁;梳齒式微機械力平衡加速度計[J];中國慣性技術學報;2002年03期

4 姜復興,任順清;加速度計指北技術研究[J];中國慣性技術學報;2002年05期

5 劉宗林,吳學忠,李圣怡;叉指式微硅加速度計的參數(shù)化設計[J];微納電子技術;2003年Z1期

6 曾昭君,石進杰;一種抗大過載微型加速度計研究[J];微納電子技術;2003年Z1期

7 于治會;關于加速度計參數(shù)的選定[J];電氣傳動自動化;2003年03期

8 侯美麗,楊建輝,第五興樂;確認姿態(tài)的雙向微型加速度計[J];中國測試技術;2003年05期

9 蔣玉齊,程迎軍,許薇,張鯤,李昕欣,羅樂;高量程MEMS加速度計封裝工藝研究[J];傳感器技術;2005年02期

10 趙巖;翟百臣;武克用;陳濤;;加速度計在非陀螺尋北系統(tǒng)中的應用研究[J];兵工學報;2006年02期

中國重要會議論文全文數(shù)據庫 前10條

1 曹慧丹;沈昱明;賴際舟;;微硅加速度計標定及試驗研究[A];第六屆全國信息獲取與處理學術會議論文集（2）[C];2008年

2 索智群;喬東海;;力平衡模擬反饋電容加速度計的研究[A];2010’中國西部聲學學術交流會論文集[C];2010年

3 劉惠蘭;林恒;李莉;張春熹;;光學加速度計的技術及發(fā)展[A];慣性技術發(fā)展動能發(fā)展方向研討會論文集[C];2004年

4 劉惠蘭;林恒;李莉;張春熹;;光學加速度計的技術研究與發(fā)展[A];2004全國光學與光電子學學術研討會、2005全國光學與光電子學學術研討會、廣西光學學會成立20周年年會論文集[C];2005年

5 錢朋安;;一體化多維加速度計研究的若干問題分析[A];中國儀器儀表學會第九屆青年學術會議論文集[C];2007年

6 宋長福;嚴小軍;韓豐田;郭曉芳;馬高印;;硅微靜電懸浮加速度計關鍵技術研究[A];微機電慣性技術的發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢——慣性技術發(fā)展動態(tài)發(fā)展方向研討會文集[C];2011年

7 李建飛;薛兵;張俊峰;朱小毅;王曉蕾;;應用于MEMS加速度計的小型恒溫系統(tǒng)的實現(xiàn)[A];中國地震學會第14次學術大會專題[C];2012年

8 周澤兵;祝竺;;靜電懸浮加速度計研究[A];中國地球物理2013——第二十六專題論文集[C];2013年

9 薛旭;李丹東;劉國文;萬蔡辛;張承亮;;MEMS加速度計工程樣機的研制[A];慣性技術發(fā)展動態(tài)發(fā)展方向研討會文集——新世紀慣性技術在國民經濟中的應用[C];2012年

10 張亮;陸秋海;;靜電懸浮式電容差分加速度計測量原理與動特性設計[A];第九屆全國振動理論及應用學術會議論文集[C];2007年

中國重要報紙全文數(shù)據庫 前5條

1 包秋紅;加速度計測試的加速者[N];中國航空報;2004年

2 唐新培;“黑黢俠”再顯神威[N];中國航天報;2012年

3 黃忠魁 付秀娟 本報記者 徐建華;“敏感精靈”助力嫦娥探月[N];中國質量報;2014年

4 唐新培;搬走“三座山” 促成“太空吻”[N];中國航天報;2011年

5 北京弗歐弗奧信息咨詢有限公司 譚薇;MEMS傳感器大規(guī)模應用指日可待[N];中國電子報;2006年

中國博士學位論文全文數(shù)據庫 前7條

1 蔣玉齊;高量程MEMS加速度計封裝研究[D];中國科學院研究生院（上海微系統(tǒng)與信息技術研究所）;2004年

2 楊杰;無陀螺捷聯(lián)慣導系統(tǒng)加速度計構型研究與誤差分析[D];哈爾濱工程大學;2011年

3 張習文;微小型加速度計的精密裝配及影響性能的因素研究[D];大連理工大學;2013年

4 劉志平;無陀螺捷聯(lián)慣導系統(tǒng)若干關鍵技術研究[D];哈爾濱工程大學;2010年

5 李博;基于共振隧穿結構介觀壓阻效應的納機電加速度計研究[D];中北大學;2008年

6 劉力;慣性傳感器扭擺測試中地面振動和放電金絲的影響研究[D];華中科技大學;2012年

7 王世明;基于離心機的慣性儀表測試方法研究與誤差分析[D];哈爾濱工業(yè)大學;2014年

中國碩士學位論文全文數(shù)據庫 前10條

1 胡紅革;硅撓性伺服加速度計設計[D];電子科技大學;2002年

2 李園晴;懸絲支承加速度計溫度誤差建模及補償研究[D];上海交通大學;2011年

3 王巍;高精度加速度計測量系統(tǒng)的分析與設計[D];哈爾濱工程大學;2011年

4 游俠飛;MEMS加速度計溫度場及殘余應力模型研究[D];浙江大學;2012年

5 陸陽;高精度加速度計采集單元的設計及關鍵器件的研究[D];哈爾濱工程大學;2009年

6 席晉;加速度計數(shù)據采集與溫度補償技術研究[D];哈爾濱工程大學;2009年

7 解啟瞻;捷聯(lián)慣導系統(tǒng)中石英加速度計溫漂補償研究[D];重慶大學;2009年

8 莊瑞芬;硅微諧振式加速度計結構設計技術研究[D];南京理工大學;2009年

9 李發(fā)明;光學加速度計方案的初步研究[D];國防科學技術大學;2009年

10 韓小菊;聲表面波加速度計的溫度誤差及補償方法研究[D];西安科技大學;2009年

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