本文關(guān)鍵詞：穆勒矩陣橢偏儀變角機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)

  更多相關(guān)文章： 穆勒矩陣橢偏儀 變角機(jī)構(gòu) 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 仿真分析 有限元 誤差分析

【摘要】：穆勒矩陣橢偏儀是一種先進(jìn)的光學(xué)測(cè)量?jī)x器,與常規(guī)測(cè)量?jī)x器相比,具有非接觸、非破壞、快速和信息量豐富等優(yōu)良特性。穆勒矩陣橢偏儀通過(guò)多入射角、多方位角等測(cè)量條件優(yōu)化配置,可以實(shí)現(xiàn)納米結(jié)構(gòu)更高精度測(cè)量。變角機(jī)構(gòu)是穆勒矩陣橢偏儀實(shí)現(xiàn)多角度測(cè)量的關(guān)鍵,是橢偏儀的重要組成部分。變角機(jī)構(gòu)的性能直接影響著整個(gè)儀器的測(cè)試準(zhǔn)確度和測(cè)試精度。本論文著重研究穆勒矩陣橢偏儀變角機(jī)構(gòu)的機(jī)械設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn),論文研究工作主要包括以下幾個(gè)方面:通過(guò)對(duì)比分析現(xiàn)有橢偏儀產(chǎn)品結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),并對(duì)不同類型變角機(jī)構(gòu)的運(yùn)動(dòng)方式和優(yōu)缺點(diǎn)進(jìn)行分析比較。根據(jù)實(shí)際需求制定變角機(jī)構(gòu)的整體設(shè)計(jì)方案。在此基礎(chǔ)上,通過(guò)變角機(jī)構(gòu)載荷核算,求出整個(gè)裝置所需輸入轉(zhuǎn)矩,完成電機(jī)選型�；谧兘菣C(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)方案,完成零部件的參數(shù)設(shè)計(jì)和三維實(shí)體造型;借助于Pro/E Wildfire軟件平臺(tái)對(duì)零部件進(jìn)行虛擬裝配,檢測(cè)元件間的干涉情況。通過(guò)Pro/E的仿真模塊,查看機(jī)構(gòu)的整體運(yùn)動(dòng)軌跡,并對(duì)角度、角加速度以及受力的仿真結(jié)果進(jìn)行分析,對(duì)設(shè)計(jì)方案進(jìn)行仿真驗(yàn)證。利用ANSYS Workbench軟件平臺(tái)對(duì)變角機(jī)構(gòu)的部分關(guān)鍵零部件進(jìn)行結(jié)構(gòu)靜力分析,查看其變形情況,從而在設(shè)計(jì)階段避免其薄弱環(huán)節(jié)。同時(shí),通過(guò)自由模態(tài)分析,研究變角機(jī)構(gòu)的振動(dòng)特性。對(duì)工程實(shí)現(xiàn)的變角機(jī)構(gòu)進(jìn)行整體裝配和調(diào)試,測(cè)量雙臂實(shí)際旋轉(zhuǎn)角度,通過(guò)重復(fù)性測(cè)量實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證所設(shè)計(jì)的變角機(jī)構(gòu)角度運(yùn)動(dòng)性能指標(biāo)。在此基礎(chǔ)上全面分析了變角機(jī)構(gòu)的誤差來(lái)源,并提出了相應(yīng)地改善措施。
【關(guān)鍵詞】：穆勒矩陣橢偏儀 變角機(jī)構(gòu) 結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì) 仿真分析 有限元 誤差分析
【學(xué)位授予單位】：華中科技大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號(hào)】：TH74
【目錄】：

• 摘要4-5
• Abstract5-8
• 1 緒論8-13
• 1.1 課題來(lái)源8
• 1.2 課題研究目的及意義8-9
• 1.3 國(guó)內(nèi)外橢偏儀研究現(xiàn)狀9-11
• 1.4 論文主要研究?jī)?nèi)容11-13
• 2 穆勒矩陣橢偏儀變角機(jī)構(gòu)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)13-27
• 2.1 橢偏儀測(cè)量原理13-14
• 2.2 現(xiàn)有產(chǎn)品概述14-19
• 2.3 變角機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)方案19-23
• 2.4 電機(jī)選擇23-26
• 2.5 本章小結(jié)26-27
• 3 變角機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)仿真分析27-38
• 3.1 引言27-28
• 3.2 仿真模型創(chuàng)建28-29
• 3.3 變角機(jī)構(gòu)運(yùn)動(dòng)學(xué)仿真29-34
• 3.4 變角機(jī)構(gòu)動(dòng)態(tài)仿真34-37
• 3.5 本章小結(jié)37-38
• 4 變角機(jī)構(gòu)有限元分析38-49
• 4.1 概述38
• 4.2 結(jié)構(gòu)靜力學(xué)分析38-41
• 4.3 結(jié)果分析41-43
• 4.4 模態(tài)分析43-48
• 4.5 本章小結(jié)48-49
• 5 變角機(jī)構(gòu)裝配與測(cè)試49-57
• 5.1 整體裝配與調(diào)試49-51
• 5.2 角度性能測(cè)試51-54
• 5.3 誤差分析54-55
• 5.4 誤差補(bǔ)償措施55-56
• 5.5 本章小結(jié)56-57
• 6 總結(jié)與展望57-59
• 6.1 全文總結(jié)57-58
• 6.2 展望58-59
• 致謝59-60
• 參考文獻(xiàn)60-62

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 沈文江;自動(dòng)橢偏儀測(cè)試技術(shù)[J];儀器儀表學(xué)報(bào);1985年01期

2 馮長(zhǎng)川;國(guó)外橢偏儀性能簡(jiǎn)介[J];半導(dǎo)體技術(shù);1987年06期

3 蔡煥夫,曾淳,龍興武;高精度雙臂消光全自動(dòng)橢偏儀的研制[J];量子電子學(xué);1992年01期

4 楊坤;王向朝;步揚(yáng);;橢偏儀的研究進(jìn)展[J];激光與光電子學(xué)進(jìn)展;2007年03期

5 徐真善;用橢偏儀同時(shí)測(cè)定主應(yīng)力差和方向[J];上海機(jī)械學(xué)院學(xué)報(bào);1985年04期

6 張繼濤;李巖;羅志勇;;一種可溯源的光譜橢偏儀標(biāo)定方法[J];物理學(xué)報(bào);2010年01期

7 劉崇進(jìn)，沈家瑞，李鳳仙;橢偏儀測(cè)量粗糙面薄膜的厚度和折射率的研究[J];光學(xué)技術(shù);1995年03期

8 包學(xué)誠(chéng);橢偏儀的結(jié)構(gòu)原理與發(fā)展[J];現(xiàn)代科學(xué)儀器;1999年03期

9 陳云鋒;陳炳若;;橢偏儀數(shù)據(jù)處理及誤差修正[J];光電子技術(shù);2006年03期

10 馬育棟;;橢偏儀測(cè)量光學(xué)參數(shù)實(shí)驗(yàn)[J];硅谷;2010年16期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 楊坤;王向朝;步揚(yáng);;橢偏儀研究進(jìn)展[A];第十一屆全國(guó)光學(xué)測(cè)試學(xué)術(shù)討論會(huì)論文（摘要集）[C];2006年

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前2條

1 張繼濤;基于光譜橢偏術(shù)的硅球表面氧化層厚度測(cè)量系統(tǒng)[D];清華大學(xué);2010年

2 陳修國(guó);基于廣義橢偏儀的納米結(jié)構(gòu)測(cè)量理論與方法研究[D];華中科技大學(xué);2013年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 宋國(guó)志;寬光譜橢偏儀在集成電路中的研究與應(yīng)用[D];電子科技大學(xué);2014年

2 姜春光;深紫外寬光譜成像橢偏儀的研制[D];合肥工業(yè)大學(xué);2015年

3 賈亞斌;相調(diào)制型光譜橢偏儀校準(zhǔn)及HfO_2超薄膜表征[D];太原理工大學(xué);2016年

4 周雪琪;原子層沉積薄膜的橢偏儀模型研究[D];華中科技大學(xué);2015年

5 李志騰;穆勒矩陣橢偏儀主控系統(tǒng)設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)[D];華中科技大學(xué);2015年

6 雷家寶;穆勒矩陣橢偏儀變角機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)[D];華中科技大學(xué);2015年

7 劉玉龍;橢偏儀校準(zhǔn)方法研究[D];中國(guó)計(jì)量科學(xué)研究院;2014年

8 廖清君;單波長(zhǎng)消光橢偏儀的數(shù)據(jù)處理研究[D];四川大學(xué);2002年

9 李雯;橢偏儀對(duì)納米薄膜光學(xué)和介電性能的研究[D];蘭州大學(xué);2012年

10 徐鵬;橢偏儀在集成電路檢測(cè)中的應(yīng)用[D];電子科技大學(xué);2013年

，

本文編號(hào)：981798