發(fā)布時間：2017-10-05 21:16

  本文關鍵詞：平行雙關節(jié)坐標測量機連桿微變形測量系統(tǒng)

  更多相關文章： 微位移 平行雙關節(jié)坐標測量機 PSD 變形 誤差 樣條插值

【摘要】：為準確測量平行雙關節(jié)坐標測量機零件彈性變形量,從而對由此引起的測量誤差進行補償,進一步提高平行雙關節(jié)坐標測量機測量精度和可靠性,介紹了一種基于PSD位移檢測的桿件微變形測量方法,通過激光參考光束將變形量的測量轉(zhuǎn)化為位移量的測量。以FPGA為核心搭建信號轉(zhuǎn)換、采集及傳輸電路。在Lab VIEW環(huán)境編寫上位機軟件分析測量數(shù)據(jù)。使用ANSYS軟件進行力學仿真分析提出測量系統(tǒng)應具備的精度指標及測量范圍。使用激光干涉儀標定系統(tǒng)響應特性,通過2D等電壓間隔輸出實驗測定PSD有效面積內(nèi)的位移響應矩陣,采用2D雙三次樣條插值法修正系統(tǒng)響應的非線性誤差。實驗證實系統(tǒng)可實現(xiàn)1.32μm(2σ)的位移測量精度�？捎糜谄叫须p關節(jié)坐標測量機桿件變形測量,且其安裝尺寸較小,可以實現(xiàn)在線檢測。
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學儀器科學與光電工程學院;
【關鍵詞】： 微位移 平行雙關節(jié)坐標測量機 PSD 變形 誤差 樣條插值
【基金】：國家自然科學基金(51375137)資助項目
【分類號】：TH721
【正文快照】： 1引言坐標測量機是以精密機械為基礎的機、電、光、計算機融于一體的高精度測量設備。用于測量三維空間內(nèi)的位置信息,可以通過一次夾裝,多點測量結(jié)合不同類型的探頭組合測量多種幾何元素,結(jié)合相應的數(shù)據(jù)處理軟件可以獲取三維空間內(nèi)的所有幾何量信息。為適應不同環(huán)境及測量對象

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