本文關(guān)鍵詞：外差干涉定位系統(tǒng)中的鎖相跟蹤方法

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【摘要】：以外差干涉定位系統(tǒng)為研究對(duì)象,提出一種基于鎖相跟蹤的定位方法,簡(jiǎn)化了傳統(tǒng)定位系統(tǒng)結(jié)構(gòu);就整個(gè)定位系統(tǒng)的工作過(guò)程及原理進(jìn)行了說(shuō)明,證明了鎖相跟蹤方法的可行性;討論了系統(tǒng)工作過(guò)程中的核心功能環(huán)節(jié)的實(shí)現(xiàn)方法,分別對(duì)高頻信號(hào)的發(fā)生、移相脈沖抑制以及鑒相過(guò)程進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。本文就鑒相電路功能和干涉鎖相跟蹤定位系統(tǒng)的輸出進(jìn)行了測(cè)試實(shí)驗(yàn),實(shí)驗(yàn)結(jié)果證明高頻鑒相電路輸出準(zhǔn)確度達(dá)到0.07o,鎖相跟蹤系統(tǒng)定位輸出的合成不確定度為10.1 nm。
【作者單位】： 浙江大學(xué)電氣工程學(xué)院;中國(guó)計(jì)量學(xué)院計(jì)量測(cè)試工程分院;
【關(guān)鍵詞】： 外差干涉 鎖相 定位 相位差 鑒相
【基金】：國(guó)家質(zhì)檢總局公益性行業(yè)科研專項(xiàng)(201210001-3) 國(guó)家自然科學(xué)基金(50705090)
【分類號(hào)】：TH744.3
【正文快照】： 0引言定位平臺(tái)是工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究過(guò)程中的一個(gè)常用裝置,其定位精度往往直接影響加工、生產(chǎn)的技術(shù)水平。隨著超精密加工技術(shù)的發(fā)展,定位精度要求從傳統(tǒng)的微米級(jí)提升到納米級(jí),因而需要新的定位方法和結(jié)構(gòu)來(lái)滿足需求[1-5]。為了提升定位精度,在定位系統(tǒng)的檢測(cè)方法、機(jī)械結(jié)構(gòu)、

【參考文獻(xiàn)】

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【共引文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：973888