本文關(guān)鍵詞：基于PVDF的三維納米諧振觸發(fā)測頭及定位系統(tǒng)

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【摘要】：微納米三坐標(biāo)測量機(jī)(Coordinate measuring machining,CMM)是目前微納米三維測量領(lǐng)域的一個研究熱點(diǎn),針對微納米CMM中三維納米測頭的研究瓶頸,提出一種與現(xiàn)有機(jī)械接觸式測頭和光學(xué)非接觸式測頭工作原理完全不同的、可達(dá)到納米/亞納米量級觸發(fā)分辨力的新型諧振測頭。利用聚偏氟乙烯(Poly vinylidene fluoride,PVDF)薄膜的壓電特性和其諧振參數(shù)對微小作用力的高敏感性,PVDF薄膜與一體式光纖微測桿測球相結(jié)合構(gòu)建成了基于PVDF薄膜的三維納米諧振觸發(fā)測頭。該測頭在z向以輕敲模式接觸,在x、y向以摩擦模式接觸。經(jīng)過試驗(yàn)驗(yàn)證,由該測頭與三維納米定位平臺、數(shù)據(jù)處理及反饋控制系統(tǒng)相結(jié)合構(gòu)建成的三維諧振納米觸發(fā)定位系統(tǒng)在x、y、z三個方向的觸發(fā)分辨力都達(dá)到了亞納米量級,分別為0.12 nm、0.10 nm、0.12 nm;三維重復(fù)性誤差分別為26 nm、36 nm、10 nm。試驗(yàn)結(jié)果證實(shí)了新型三維諧振測頭及其系統(tǒng)的有效性。
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學(xué)儀器科學(xué)與光電工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 微納米三坐標(biāo)測量機(jī) 三維納米測頭 聚偏氟乙烯薄膜 三維諧振觸發(fā)測頭 三維諧振觸發(fā)定位系統(tǒng)
【基金】：國家自然科學(xué)基金(51175141) 教育部博士點(diǎn)基金(20100111110011) 國家高技術(shù)研究發(fā)展計(jì)劃(863計(jì)劃,2008AA042409)資助項(xiàng)目
【分類號】：TH721
【正文快照】： 0前言*近年來,隨著超精密加工和微細(xì)加工技術(shù)的廣泛應(yīng)用,微型機(jī)械、超精密光學(xué)器件、微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-electro-mechanical system,MEMS)等越發(fā)趨于微型化,傳統(tǒng)的微納米三坐標(biāo)測量機(jī)(Coordinatemeasuring machining,CMM)已滿足不了這些微小器件和微位移量的測量精度要求,因此

【共引文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前4條

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【相似文獻(xiàn)】

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中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

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本文編號：971410