發(fā)布時間：2017-10-03 10:47

  本文關鍵詞：Ф420mm高次非球面透鏡的加工與檢測

  更多相關文章： 非球面透鏡 光學加工 透鏡加工 透鏡檢測 零位補償 面形精度

【摘要】：介紹了Ф420mm熔石英高次非球面透鏡的加工與檢測方法。對現(xiàn)有數(shù)控加工工藝進行了優(yōu)化,通過分工序加工方式,依次采用機器人研磨、拋光和離子束修形技術完成了透鏡的加工。進行非球面透鏡檢測時,考慮透鏡的凹面為球面,利用球面波干涉儀對其面形進行了直接檢測,剔除干涉儀標準鏡鏡頭參考面誤差后,透鏡凹面的精度達到0.011λ-RMS;針對透鏡的凸面為高次非球面,采用基于背后反射自準法的零位補償技術對其進行面形檢測,其精度達到0.013λ-RMS。最后,采用一塊高精度標準球面鏡對加工后透鏡的透射波前進行了自消球差檢測,得到其波前誤差為0.013λ-RMS。試驗結果表明,非球面透鏡各項技術指標均滿足設計要求。所述工藝方法亦適用于更大口徑的非球面透鏡及其他類型非球面光學元件的高精度加工.
【作者單位】： 北京空間機電研究所;
【關鍵詞】： 非球面透鏡 光學加工 透鏡加工 透鏡檢測 零位補償 面形精度
【基金】：總裝備部預研基金資助項目(No.9140A21010114HT05063)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 1引言隨著空間光學遙感器、強激光裝置等國家重大工程的發(fā)展,大口徑非球面光學元件的應用越來越多,光學系統(tǒng)及光學元件的結構形式也越來越多樣化,因此大口徑非球面透射光學元件的應用逐年增加。相比于二次非球面透鏡,高次非球面透鏡的面型參數(shù)自由度更多,能更有效地校正光學系

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