本文關(guān)鍵詞：Ф420mm高次非球面透鏡的加工與檢測(cè)

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【摘要】：介紹了Ф420mm熔石英高次非球面透鏡的加工與檢測(cè)方法。對(duì)現(xiàn)有數(shù)控加工工藝進(jìn)行了優(yōu)化,通過分工序加工方式,依次采用機(jī)器人研磨、拋光和離子束修形技術(shù)完成了透鏡的加工。進(jìn)行非球面透鏡檢測(cè)時(shí),考慮透鏡的凹面為球面,利用球面波干涉儀對(duì)其面形進(jìn)行了直接檢測(cè),剔除干涉儀標(biāo)準(zhǔn)鏡鏡頭參考面誤差后,透鏡凹面的精度達(dá)到0.011λ-RMS;針對(duì)透鏡的凸面為高次非球面,采用基于背后反射自準(zhǔn)法的零位補(bǔ)償技術(shù)對(duì)其進(jìn)行面形檢測(cè),其精度達(dá)到0.013λ-RMS。最后,采用一塊高精度標(biāo)準(zhǔn)球面鏡對(duì)加工后透鏡的透射波前進(jìn)行了自消球差檢測(cè),得到其波前誤差為0.013λ-RMS。試驗(yàn)結(jié)果表明,非球面透鏡各項(xiàng)技術(shù)指標(biāo)均滿足設(shè)計(jì)要求。所述工藝方法亦適用于更大口徑的非球面透鏡及其他類型非球面光學(xué)元件的高精度加工.
【作者單位】： 北京空間機(jī)電研究所;
【關(guān)鍵詞】： 非球面透鏡 光學(xué)加工 透鏡加工 透鏡檢測(cè) 零位補(bǔ)償 面形精度
【基金】：總裝備部預(yù)研基金資助項(xiàng)目(No.9140A21010114HT05063)
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： 1引言隨著空間光學(xué)遙感器、強(qiáng)激光裝置等國(guó)家重大工程的發(fā)展,大口徑非球面光學(xué)元件的應(yīng)用越來越多,光學(xué)系統(tǒng)及光學(xué)元件的結(jié)構(gòu)形式也越來越多樣化,因此大口徑非球面透射光學(xué)元件的應(yīng)用逐年增加。相比于二次非球面透鏡,高次非球面透鏡的面型參數(shù)自由度更多,能更有效地校正光學(xué)系

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