本文關(guān)鍵詞：干涉條紋帶寬與波前頻譜關(guān)系研究

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【摘要】：干涉測量法是測量科學(xué)中最有效的手段之一,而無論是要增大其動態(tài)測量范圍還是要檢測面形的高頻誤差,都受限于檢測的空間帶寬,故干涉條紋帶寬與波前頻譜的關(guān)系就成為關(guān)注的重點。針對這一需求,結(jié)合傅里葉光學(xué)理論對干涉條紋帶寬與波前頻譜的關(guān)系進行了理論分析和仿真實驗,得到了干涉條紋帶寬與波前頻譜的數(shù)值對應(yīng)關(guān)系。結(jié)果表明,干涉條紋強度分布的空間頻譜是波前分布函數(shù)的空間頻譜基礎(chǔ)上的擴展,擴展程度取決于波前分布的幅頻積。頻譜擴展程度與波前分布的幅頻積呈正比,波前分布的幅頻積越大,空間頻譜擴展越寬。根據(jù)CCD分辨率確定干涉圖的總帶寬,可以計算出能測的波前最大空間頻率,對后續(xù)研究各種干涉方法的頻譜特性以及如何進行頻譜帶寬的優(yōu)化分配,從而進一步提高可測面形空間頻率的測量范圍提供了理論依據(jù)。
【作者單位】： 北京信息科技大學(xué)光電測試技術(shù)北京市重點實驗室;北京理工大學(xué)光電學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 測量 條紋帶寬 空間頻率 波前頻譜
【基金】：教育部“長江學(xué)者與創(chuàng)新團隊”發(fā)展計劃(IRT1212) 北京市教委科研計劃項目(KM201511232006)
【分類號】：O436.1;TH74
【正文快照】： 1引言光學(xué)元件干涉檢測技術(shù)朝著大口徑、高精度、高分辨率、高測量重復(fù)性及抗干擾等方向發(fā)展。目前存在的主要問題是:高空間分辨率與大口徑的矛盾,高精度與可測波前大動態(tài)范圍的矛盾。這兩對矛盾是大口徑光學(xué)元件干涉檢測的難點,也是該領(lǐng)域近期的研究熱點。各種測量方法中涉及

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