本文關(guān)鍵詞：大口徑光學(xué)元件精密加工溫差分析及控制方法

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【摘要】：針對大口徑光學(xué)元件精密加工時上下表面存在溫差的問題,以環(huán)形拋光系統(tǒng)為例,對拋光盤和工件溫度特性進(jìn)行了研究。在1.6m環(huán)形拋光機(jī)上對工件溫度進(jìn)行了測定,結(jié)果表明即使在低速拋光情況下工件上下表面也會產(chǎn)生較大的溫差。提出了合理搭配工藝參數(shù)和對工件非加工面絕熱兩種溫差控制方法。通過采用控制變量法和對工件絕熱拋光法進(jìn)行測溫實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了方案的可行性,為高精度面形加工奠定了基礎(chǔ)。
【作者單位】： 中國科學(xué)院上海光學(xué)精密機(jī)械研究所高功率激光物理聯(lián)合實(shí)驗(yàn)室;中國科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 光學(xué)制造 溫差控制 大口徑光學(xué)元件 環(huán)形拋光 精密加工 絕熱
【基金】：中以高功率激光技術(shù)國際合作研究(2010DFB70490)
【分類號】：TH74
【正文快照】： Temperature Difference Analysis and Control Methods in PrecisionFinishing of Large-Aperture Optical ComponentJiao Xiang1,2 Zhu Jianqiang1 Fan Quantang1 Li Yangshuai 1,21 Key Laboratory on High Power Laser and Physics,Shanghai Institute of Optics and Fine

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本文編號：953453