本文關(guān)鍵詞：高靈敏度QVBA限位結(jié)構(gòu)設(shè)計研究

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【摘要】：石英振梁加速度計(QVBA)具有檢測精度高、準(zhǔn)數(shù)字輸出的特點,靈敏度是影響其性能的一個重要指標(biāo)參數(shù)。針對現(xiàn)有石英振梁加速度計靈敏度低的問題,設(shè)計了一種高靈敏度石英振梁加速度計。它采用在石英擺片上下位置施加一對限位片,既可對石英擺片的最大位移量進(jìn)行限制以提高器件的抗沖擊性能,又可增加石英擺片振動過程中的阻尼力以提高器件的抗振動性能,降低了加速度計一階模態(tài)諧振頻率的限制條件,有效提高了加速度計的靈敏度。最后依據(jù)加速度計的結(jié)構(gòu)特點設(shè)計出了相應(yīng)的工藝制作方案,并加工出了差分結(jié)構(gòu)的加速度計樣機,經(jīng)測試其靈敏度為65.74Hz/g,10min零位穩(wěn)定性為15.8μg。
【作者單位】： 中國電子科技集團(tuán)公司第26研究所;中國人民解放軍駐重慶氣體壓縮機廠軍事代表室;
【關(guān)鍵詞】： 石英振梁加速度計 限位片 靈敏度 差分 阻尼
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： 0引言石英振梁加速度計(QVBA)利用振梁受到軸向應(yīng)力時諧振頻率發(fā)生變化的性質(zhì)來檢測輸入的加速度,具有檢測精度高,準(zhǔn)數(shù)字輸出及量程范圍寬等優(yōu)點[1],在數(shù)字信號處理領(lǐng)域已開始逐步取代傳統(tǒng)的力平衡式加速度計。目前,QVBA有雙振梁和單振梁兩種結(jié)構(gòu)。美國的Kearfott公司采用雙振

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本文編號：951246