發(fā)布時(shí)間：2017-09-30 17:05

  本文關(guān)鍵詞：雙柔性平行六連桿微動(dòng)平臺(tái)結(jié)構(gòu)的設(shè)計(jì)及測(cè)試

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【摘要】：采用直圓型柔性鉸鏈設(shè)計(jì)了承載能力較大的雙柔性平行六連桿微納定位平臺(tái),并對(duì)其性能進(jìn)行了測(cè)試�；谌嵝糟q鏈經(jīng)典剛度公式計(jì)算了直圓型柔性鉸鏈轉(zhuǎn)動(dòng)剛度,推導(dǎo)了雙柔性平行六連桿微動(dòng)平臺(tái)在運(yùn)動(dòng)方向的整體剛度函數(shù);建立了平臺(tái)的動(dòng)力學(xué)模型,得到了平臺(tái)的固有頻率解析式�；陟o動(dòng)態(tài)特性優(yōu)化設(shè)計(jì)了雙柔性平行六連桿微納定位平臺(tái),得到了平臺(tái)的優(yōu)化參數(shù)�；诩す飧缮鎯x和多普勒激光測(cè)振儀建立了平臺(tái)的靜動(dòng)態(tài)特性測(cè)試系統(tǒng)。對(duì)微納定位平臺(tái)進(jìn)行了試驗(yàn)和測(cè)試,結(jié)果顯示:剛度的理論計(jì)算值為7.92N/μm,試驗(yàn)值為7.44N/μm,誤差為6.5%;固有頻率的理論模型值為349.9Hz,實(shí)驗(yàn)值為342.2Hz,誤差為2.3%。空載和加載為250、500、2 000、2 250、2 500g時(shí)的平臺(tái)位移表明加載不均勻會(huì)對(duì)平臺(tái)輸出位移產(chǎn)生較大的影響,當(dāng)加載為2 500g時(shí),不均勻加載對(duì)位移的影響量約為均勻加載的5倍。此外,平臺(tái)最大位移為56.59μm。重復(fù)定位精度測(cè)試顯示,在施加電壓50、100、150V時(shí),定位平臺(tái)在同一輸入電壓下的位移最大偏差為0.896μm。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,建立的雙柔性平行六連桿的剛度和固有頻率計(jì)算模型是正確的,設(shè)計(jì)的微動(dòng)平臺(tái)的最大位移及精度可滿足設(shè)計(jì)要求。
【作者單位】： 廣東工業(yè)大學(xué)廣東省微納加工技術(shù)與裝備重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 雙柔性平行六連桿 微動(dòng)平臺(tái) 剛度 固有頻率 激光干涉儀 多普勒激光測(cè)振儀
【基金】：廣東省引進(jìn)創(chuàng)新科研團(tuán)隊(duì)計(jì)劃資助項(xiàng)目(201001G0104781202) 廣東省科技計(jì)劃項(xiàng)目(2012B091000082,2011A090200119) 國(guó)家自然科學(xué)基金項(xiàng)目(No.51275093)
【分類號(hào)】：TH703;TH112
【正文快照】： 1引言目前,微電子制造、生物醫(yī)療工程、光學(xué)微裝配及超精密加工等領(lǐng)域?qū)ξ⒓{定位系統(tǒng)的要求越來越高[1-2],多要求平臺(tái)既具有較高的響應(yīng)速度,又要具有較高的定位精度和穩(wěn)定性。壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的柔性鉸鏈定位系統(tǒng)可實(shí)現(xiàn)納米級(jí)定位,因此,該結(jié)構(gòu)已經(jīng)成為超精密加工領(lǐng)域的一個(gè)重要研

【參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫 前9條

1 吳鷹飛,周兆英;柔性鉸鏈的設(shè)計(jì)計(jì)算[J];工程力學(xué);2002年06期

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3 馬立;榮偉彬;孫立寧;;三維納米級(jí)微動(dòng)工作臺(tái)的設(shè)計(jì)與分析[J];光學(xué)精密工程;2006年06期

4 周京博;孫濤;侯國(guó)安;;雙柔性支撐板快速伺服刀架優(yōu)化設(shè)計(jì)及測(cè)試[J];光學(xué)精密工程;2013年02期

5 裴旭;李遠(yuǎn)s，

本文編號(hào)：949371