以利薩茹層迭式局部掃描實(shí)現(xiàn)高速大范圍之原子力顯微鏡
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更多相關(guān)文章: 原子力顯微鏡 量測(cè)儀器 機(jī)械共振 掃描方式 高分辨率 掃描時(shí)間 掃描路徑 先進(jìn)控制 橫過(guò) 掃描速率
【摘要】:正原子力顯微鏡是一種非常有用的精密量測(cè)儀器,此儀器具有奈米等級(jí)的解析能力并適用于導(dǎo)體與非導(dǎo)體樣本且不受使用環(huán)境所限制,為目前不可或缺的微奈米量測(cè)工具。然而,傳統(tǒng)原子力顯微鏡所使用的掃描方式,在軌跡上容易造成掃描儀的機(jī)械共振問(wèn)題,且無(wú)法去除不必要的掃描區(qū)域,因此,對(duì)于一個(gè)大范圍與高分辨率的影像要求,必須要以一個(gè)更長(zhǎng)的掃描時(shí)間來(lái)達(dá)成,無(wú)法給予一個(gè)有效率的掃描表現(xiàn),為目前原子力顯
【作者單位】: 臺(tái)灣大學(xué);
【關(guān)鍵詞】: 原子力顯微鏡;量測(cè)儀器;機(jī)械共振;掃描方式;高分辨率;掃描時(shí)間;掃描路徑;先進(jìn)控制;橫過(guò);掃描速率;
【分類號(hào)】:TH742
【正文快照】: 原子力顯微鏡是一種非常有用的精密量測(cè)儀器,此儀器具有奈米等級(jí)的解析能力并適用于導(dǎo)體與非導(dǎo)體樣本且不受使用環(huán)境所限制,為目前不可或缺的微奈米量測(cè)工具。然而,傳統(tǒng)原子力顯微鏡所使用的掃描方式,在軌跡上容易造成掃描儀的機(jī)械共振問(wèn)題,且無(wú)法去除不必要的掃描區(qū)域,因此,
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,本文編號(hào):948956
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