本文關(guān)鍵詞：應(yīng)用于比長(zhǎng)儀的光電顯微鏡的設(shè)計(jì)

  更多相關(guān)文章： 光學(xué)設(shè)計(jì) 比長(zhǎng)儀 光電顯微鏡 光電倍增管 測(cè)量精度

【摘要】：光電顯微鏡是應(yīng)用于微小結(jié)構(gòu)觀察和非接觸測(cè)量的高精度瞄準(zhǔn)儀器,本課題設(shè)計(jì)了一套應(yīng)用于比長(zhǎng)儀的光電顯微鏡系統(tǒng),可以對(duì)玻璃或金屬線紋刻尺進(jìn)行高精度瞄準(zhǔn)測(cè)量。在分析比長(zhǎng)儀國(guó)內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀的基礎(chǔ)上,闡述了比長(zhǎng)儀和光電顯微鏡的工作原理,提出了應(yīng)用于比長(zhǎng)儀的光電顯微鏡總體設(shè)計(jì)方案。著重設(shè)計(jì)光電顯微鏡的光學(xué)系統(tǒng),根據(jù)使用要求計(jì)算出光電顯微鏡的設(shè)計(jì)參數(shù),運(yùn)用ZEMAX軟件分別設(shè)計(jì)光電顯微鏡的物鏡系統(tǒng)、觀察系統(tǒng)和照明系統(tǒng),并對(duì)設(shè)計(jì)結(jié)果進(jìn)行公差分析。選取高靈敏度的光電倍增管作為光電轉(zhuǎn)換器件,設(shè)計(jì)了前置放大電路。分析了影響光電顯微鏡瞄準(zhǔn)精度的因素,并提出了解決方案,通過實(shí)驗(yàn)得出光電顯微鏡的瞄準(zhǔn)精度為0.03μm。
【關(guān)鍵詞】：光學(xué)設(shè)計(jì) 比長(zhǎng)儀 光電顯微鏡 光電倍增管 測(cè)量精度
【學(xué)位授予單位】：長(zhǎng)春理工大學(xué)
【學(xué)位級(jí)別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2015
【分類號(hào)】：TH742
【目錄】：

• 摘要4-5
• ABSTRACT5-8
• 第一章 緒論8-12
• 1.1 課題研究背景8
• 1.2 國(guó)內(nèi)外發(fā)展現(xiàn)狀8-10
• 1.3 課題研究的目的及意義10
• 1.4 論文研究的主要內(nèi)容10-12
• 1.4.1 論文主要研究?jī)?nèi)容10
• 1.4.2 論文主要技術(shù)指標(biāo)10-12
• 第二章 比長(zhǎng)儀的工作原理及分類12-19
• 2.1 立式接觸式干涉比長(zhǎng)儀12-13
• 2.2 立式光學(xué)計(jì)13-14
• 2.3 數(shù)字顯示立式光學(xué)計(jì)14-15
• 2.4 立式激光測(cè)長(zhǎng)儀15-16
• 2.5 萬能測(cè)長(zhǎng)儀16-17
• 2.6 數(shù)字式萬能測(cè)長(zhǎng)儀17-19
• 第三章 光電顯微鏡的工作原理19-24
• 3.1 光電顯微鏡的工作原理19
• 3.2 光電顯微鏡的總體設(shè)計(jì)方案19-20
• 3.3 光電顯微鏡的光學(xué)成像原理20-24
• 3.3.1 顯微物鏡的放大倍率21
• 3.3.2 顯微鏡物鏡的數(shù)值孔徑21-22
• 3.3.3 顯微鏡的分類22-23
• 3.3.4 物方遠(yuǎn)心光路23-24
• 第四章 光電顯微鏡的光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)24-43
• 4.1 顯微鏡物鏡設(shè)計(jì)參數(shù)的確定24-25
• 4.2 顯微鏡物鏡的設(shè)計(jì)25-35
• 4.2.1 初始結(jié)構(gòu)的選取25-30
• 4.2.2 顯微物鏡的優(yōu)化設(shè)計(jì)30-32
• 4.2.3 顯微物鏡的設(shè)計(jì)結(jié)果32-33
• 4.2.4 顯微物鏡公差分析33-35
• 4.3 觀察系統(tǒng)的設(shè)計(jì)35-39
• 4.3.1 觀察小物鏡系統(tǒng)的設(shè)計(jì)35-36
• 4.3.2 觀察目鏡系統(tǒng)的設(shè)計(jì)36-38
• 4.3.3 觀察系統(tǒng)的公差分析38-39
• 4.4 照明系統(tǒng)的設(shè)計(jì)39-41
• 4.4.1 臨界照明系統(tǒng)設(shè)計(jì)39-40
• 4.4.2 柯勒照明系統(tǒng)設(shè)計(jì)40-41
• 4.5 光電顯微鏡總體光學(xué)系統(tǒng)設(shè)計(jì)41-43
• 第五章 光電轉(zhuǎn)換與前置放大電路43-48
• 5.1 光電轉(zhuǎn)換器件43-45
• 5.1.1 光電倍增管的結(jié)構(gòu)與工作原理43-44
• 5.1.2 光電倍增管的選擇44-45
• 5.2 前置放大電路45-46
• 5.3 電信號(hào)的輸出46-48
• 第六章 瞄準(zhǔn)精度分析與實(shí)驗(yàn)結(jié)果48-56
• 6.1 狹縫與狹縫大小的確定48-49
• 6.1.1 狹縫種類48
• 6.1.2 狹縫寬度的確定48-49
• 6.2 雜光對(duì)瞄準(zhǔn)精度的影響49-51
• 6.3 分劃板的刻線對(duì)瞄準(zhǔn)精度的影響51-52
• 6.4 調(diào)焦誤差對(duì)瞄準(zhǔn)精度的影響52-53
• 6.5 實(shí)驗(yàn)結(jié)果與精度53-56
• 第七章 總結(jié)與展望56-58
• 致謝58-59
• 參考文獻(xiàn)59-61
• 攻讀碩士期間發(fā)表的論文61

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 李如良;;檢定校對(duì)桿的一米比長(zhǎng)儀[J];計(jì)量工作;1976年06期

2 Chr.Hoffrogge;袁長(zhǎng)良;;用量塊與內(nèi)外尺寸比較的比長(zhǎng)儀[J];國(guó)外計(jì)量;1976年02期

3 馬秀馥;;精密測(cè)量零件內(nèi)外尺寸用的激光干涉比長(zhǎng)儀[J];國(guó)外計(jì)量;1974年05期

4 O.Hartmann;忻華泰;;用2米比長(zhǎng)儀測(cè)量分度間距小于0.1毫米的線紋尺[J];國(guó)外計(jì)量;1980年03期

5 朱桂林;;西德萊茨200型數(shù)字比長(zhǎng)儀數(shù)顯失準(zhǔn)的調(diào)修[J];計(jì)量技術(shù);1988年09期

6 王鐵紅;安軍;錢程;譚卓;;百分表式比長(zhǎng)儀示值誤差測(cè)量結(jié)果不確定度評(píng)定[J];計(jì)量與測(cè)試技術(shù);2012年12期

7 蘭維永;安軍;王淑娟;吳運(yùn)鋼;沙磊;;指示表式比長(zhǎng)儀校準(zhǔn)方法探討[J];計(jì)量與測(cè)試技術(shù);2012年11期

8 ;內(nèi)孔比長(zhǎng)儀的設(shè)計(jì)和應(yīng)用[J];儀器制造;1974年02期

9 ;激光光波自動(dòng)比長(zhǎng)儀[J];科學(xué)通報(bào);1973年01期

10 ;[J];;年期

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 王培芳;應(yīng)用于比長(zhǎng)儀的光電顯微鏡的設(shè)計(jì)[D];長(zhǎng)春理工大學(xué);2015年

，

本文編號(hào)：944771