本文關(guān)鍵詞：基于LabVIEW的MFC電磁閥直流信號發(fā)生及控制系統(tǒng)研制

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【摘要】：質(zhì)量流量控制器(Mass Flow Contrllor,簡稱為MFC)是一種對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量及控制的計(jì)量儀器,在半導(dǎo)體和集成電路、石油化工、真空鍍膜、醫(yī)藥、環(huán)保等多種工業(yè)領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用并起到了重要的作用。質(zhì)量流量計(jì)加上一個(gè)控制閥門,就構(gòu)成了一臺(tái)質(zhì)量流量控制器的基本結(jié)構(gòu)。質(zhì)量流量計(jì)產(chǎn)品(Mass Flow Meter,簡稱為MFM)可以實(shí)現(xiàn)對多種氣體質(zhì)量流量進(jìn)行精準(zhǔn)測量,質(zhì)量流量控制器(MFC)可以實(shí)現(xiàn)對多種氣體質(zhì)量流量進(jìn)行精準(zhǔn)的測量和控制。電磁調(diào)節(jié)閥是質(zhì)量流量控制器實(shí)現(xiàn)氣體精準(zhǔn)測量及控制的主要執(zhí)行機(jī)構(gòu),其生產(chǎn)調(diào)試的精準(zhǔn)程度和技術(shù)水平對整個(gè)MFC的量程、準(zhǔn)確度、線性度、響應(yīng)時(shí)間等各項(xiàng)技術(shù)參數(shù)指標(biāo)有著重要的影響。本文首先闡述了MFC及電磁閥的工作原理、結(jié)構(gòu)組成及指標(biāo)參數(shù),接著闡述了電磁閥調(diào)試工藝的國內(nèi)外現(xiàn)狀以及LabVIEW在MFC生產(chǎn)工藝管控過程中的廣泛應(yīng)用。闡明了LabVIEW軟件平臺(tái)應(yīng)用于電磁閥調(diào)試工藝的優(yōu)勢,介紹了系統(tǒng)的總體設(shè)計(jì)方案及軟硬件組成。闡述了電磁閥調(diào)試系統(tǒng)的測量原理,把系統(tǒng)軟件按照功能劃分為控制信號發(fā)生控制,參數(shù)配置、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)處理及報(bào)表四個(gè)組成部分。最終在LabVIEW2012軟件平臺(tái)上實(shí)現(xiàn)了該四個(gè)模塊軟件功能,最后討論了整個(gè)電磁閥調(diào)試系統(tǒng)調(diào)試結(jié)果和整個(gè)系統(tǒng)開發(fā)過程中遇到的問題及解決方案。課題最終設(shè)計(jì)完成了MFC電磁閥調(diào)試系統(tǒng),可以完成對MFC產(chǎn)品電磁閥的全部性能指標(biāo)精準(zhǔn)調(diào)試,并將調(diào)試結(jié)果生成報(bào)表作為總要工藝過程數(shù)據(jù)自動(dòng)保存。目前該系統(tǒng)已經(jīng)應(yīng)用于實(shí)際生產(chǎn),并在提高質(zhì)量流量控制器產(chǎn)品工藝調(diào)試效率、有效防錯(cuò)、降低返修率、提高響應(yīng)時(shí)間等方面起到了重要的作用。
【關(guān)鍵詞】：LabVIEW MFC 電磁閥
【學(xué)位授予單位】：北京工業(yè)大學(xué)
【學(xué)位級別】：碩士
【學(xué)位授予年份】：2016
【分類號】：TH814.6;TP273
【目錄】：

• 摘要4-5
• Abstract5-8
• 第1章 緒論8-16
• 1.1 課題背景8-10
• 1.2 自動(dòng)測試系統(tǒng)發(fā)展及基本組成10-12
• 1.3 質(zhì)量流量控制器組成及基本原理12-13
• 1.4 電磁調(diào)節(jié)閥工作原理13-14
• 1.5 國內(nèi)外電磁閥工藝現(xiàn)狀14-15
• 1.5.1 我國電磁閥工藝現(xiàn)狀14
• 1.5.2 國際電磁閥工藝現(xiàn)狀14-15
• 1.6 課題主要工作15-16
• 第2章 系統(tǒng)整體設(shè)計(jì)方案16-22
• 2.1 電磁閥控制信號發(fā)生及控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)要求16-17
• 2.2 系統(tǒng)總體設(shè)計(jì)方案17-20
• 2.3 本章小結(jié)20-22
• 第3章 電磁閥控制信號發(fā)生及控制系統(tǒng)參數(shù)測量原理22-34
• 3.1 電磁閥工作特性分析22-24
• 3.2 電磁調(diào)節(jié)閥力學(xué)分析及計(jì)算24-27
• 3.3 電磁閥驅(qū)動(dòng)參數(shù)測量方法27-29
• 3.4 電磁閥響應(yīng)曲線測量方法29-33
• 3.5 本章小結(jié)33-34
• 第4章 電磁閥控制信號發(fā)生及控制系統(tǒng)軟件設(shè)計(jì)34-44
• 4.1 LabVIEW開發(fā)平臺(tái)介紹34-36
• 4.2 軟件功能模塊劃分36
• 4.3 軟件總體設(shè)計(jì)方案36-37
• 4.4 控制信號發(fā)生模塊設(shè)計(jì)37-38
• 4.5 控制信號輸出及顯示模塊設(shè)計(jì)38-39
• 4.5.1 控制信號輸出模塊38-39
• 4.5.2 控制信號顯示模塊39
• 4.6 數(shù)據(jù)采集及處理模塊設(shè)計(jì)39-41
• 4.6.1 數(shù)據(jù)采集模塊設(shè)計(jì)40-41
• 4.6.2 數(shù)據(jù)處理模塊設(shè)計(jì)41
• 4.7 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)及查詢模塊設(shè)計(jì)41-43
• 4.7.1 數(shù)據(jù)存儲(chǔ)模塊設(shè)計(jì)42
• 4.7.2 歷史數(shù)據(jù)查詢程序42-43
• 4.8 本章小結(jié)43-44
• 第5章 軟硬件聯(lián)調(diào)44-54
• 5.1 系統(tǒng)硬件測試過程44-48
• 5.2 系統(tǒng)軟硬件聯(lián)調(diào)測試結(jié)果48-52
• 5.3 遇到的問題及解決方案52-53
• 5.4 本章小結(jié)53-54
• 結(jié)論54-56
• 參考文獻(xiàn)56-60
• 致謝60

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本文編號：940127