本文關鍵詞：用于三維形貌定量測量的調制電流式掃描離子電導顯微鏡

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【摘要】：針對已有測量方法不能同時實現(xiàn)材料表面形貌的三維定量無損測量的不足,提出了一種基于調制電流式掃描離子電導顯微鏡(SICM)的表面形貌測量方法。為了提高已有SICM系統(tǒng)的成像質量,提出了一種調制電流掃描模式。該模式在掃描頭的結構設計上采用兩塊壓電陶瓷,并采用調制離子電流的振幅作為反饋信號。該設計不僅保證了探頭對高度突變表面的成像能力,同時有助于改善系統(tǒng)的成像質量。對微凸透鏡陣列表面的成像實驗表明,相對于傳統(tǒng)跳躍掃描模式,調制電流掃描模式可以有效降低43%的刺狀噪聲,從而提高成像質量。通過與掃描激光共聚焦顯微鏡的定量對比實驗,驗證了調制電流式SICM具有更準確的三維定量測量結果,且通過采用更細的探頭和更小的掃描步距可以進一步提高測量結果的準確性。
【作者單位】： 西安交通大學機械工程學院;
【關鍵詞】： 掃描離子電導顯微鏡 表面形貌測量 調制電流 三維定量測量
【基金】：國家自然科學基金資助項目(51375363) 陜西省科技廳工業(yè)攻關項目(2013GY2-04)
【分類號】：TH742
【正文快照】： steps.材料表面形貌的三維定量無損測量具有十分廣泛的工程應用背景,例如工件表面粗糙度測量、缺陷檢測,以及研究表面微結構對材料力學性能的影響規(guī)律等。目前,常用的表面形貌三維測量方法主要有表面輪廓儀和各種顯微設備[1-10],但均存在不足之處。表面輪廓儀[1]由于探頭和樣

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1 宋盛平;賴瓊芬;裴虹;;超音頻及其調制電流的實驗研究[J];中國康復;1990年03期

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本文編號：937705