本文關(guān)鍵詞：用于三維形貌定量測量的調(diào)制電流式掃描離子電導(dǎo)顯微鏡

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【摘要】：針對已有測量方法不能同時實(shí)現(xiàn)材料表面形貌的三維定量無損測量的不足,提出了一種基于調(diào)制電流式掃描離子電導(dǎo)顯微鏡(SICM)的表面形貌測量方法。為了提高已有SICM系統(tǒng)的成像質(zhì)量,提出了一種調(diào)制電流掃描模式。該模式在掃描頭的結(jié)構(gòu)設(shè)計上采用兩塊壓電陶瓷,并采用調(diào)制離子電流的振幅作為反饋信號。該設(shè)計不僅保證了探頭對高度突變表面的成像能力,同時有助于改善系統(tǒng)的成像質(zhì)量。對微凸透鏡陣列表面的成像實(shí)驗(yàn)表明,相對于傳統(tǒng)跳躍掃描模式,調(diào)制電流掃描模式可以有效降低43%的刺狀噪聲,從而提高成像質(zhì)量。通過與掃描激光共聚焦顯微鏡的定量對比實(shí)驗(yàn),驗(yàn)證了調(diào)制電流式SICM具有更準(zhǔn)確的三維定量測量結(jié)果,且通過采用更細(xì)的探頭和更小的掃描步距可以進(jìn)一步提高測量結(jié)果的準(zhǔn)確性。
【作者單位】： 西安交通大學(xué)機(jī)械工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 掃描離子電導(dǎo)顯微鏡 表面形貌測量 調(diào)制電流 三維定量測量
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(51375363) 陜西省科技廳工業(yè)攻關(guān)項目(2013GY2-04)
【分類號】：TH742
【正文快照】： steps.材料表面形貌的三維定量無損測量具有十分廣泛的工程應(yīng)用背景,例如工件表面粗糙度測量、缺陷檢測,以及研究表面微結(jié)構(gòu)對材料力學(xué)性能的影響規(guī)律等。目前,常用的表面形貌三維測量方法主要有表面輪廓儀和各種顯微設(shè)備[1-10],但均存在不足之處。表面輪廓儀[1]由于探頭和樣

【相似文獻(xiàn)】

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1 宋盛平;賴瓊芬;裴虹;;超音頻及其調(diào)制電流的實(shí)驗(yàn)研究[J];中國康復(fù);1990年03期

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本文編號：937705