本文關(guān)鍵詞：成像光學(xué)系統(tǒng)的相對波像差梯度偏離值評價法

  更多相關(guān)文章： 光學(xué)檢測 成像光學(xué)系統(tǒng) 波像差評價 波像差梯度 相對梯度偏離值

【摘要】：針對成像光學(xué)系統(tǒng)的波像差檢測,提出了相對波像差梯度偏離值評價方法,用于直接表征波前的成像性能。給出了波像差梯度偏離值的定義,即為波前成像點與成像能量中心的偏離值。在此基礎(chǔ)上定義相對波像差梯度偏離值為波像差梯度偏離值與艾里斑大小的比值,并提出了相對波像差梯度偏離值評價方法。相對波像差梯度偏離值與波前口徑、形狀、焦距均無關(guān),故文中提出用成像尺寸、成像集中度以及成像能量分布等多種方法進(jìn)行相對波像差梯度偏離值評價。其中成像集中度和成像能量分布在不同的檢測分辨率條件下的穩(wěn)定性較好,分辨率每相差一倍產(chǎn)生的差異通常小于10%。根據(jù)出瞳位置的相對波像差梯度偏離值分布和像面位置的波像差梯度分布情況,可以方便地指導(dǎo)光學(xué)加工和系統(tǒng)裝調(diào)。進(jìn)行了相應(yīng)的實驗分析,結(jié)果顯示:相對波像差梯度偏離值評價方法可以用于制定波像差指標(biāo),進(jìn)行波前質(zhì)量控制。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;
【關(guān)鍵詞】： 光學(xué)檢測 成像光學(xué)系統(tǒng) 波像差評價 波像差梯度 相對梯度偏離值
【基金】：中國科學(xué)院探索與驗證條件建設(shè)專項資助項目
【分類號】：TH74;TP391.41
【正文快照】： 1引言波像差評價[1]在光學(xué)設(shè)計、光學(xué)加工、光學(xué)系統(tǒng)裝調(diào)等多個光學(xué)工程領(lǐng)域具有極其重要的作用。目前,通用性最好的波像差評價方法包括峰谷值(Peak-to-Valley,PV)和均方根值(RootMean Square,RMS)等,這些已經(jīng)被制定在國際標(biāo)準(zhǔn)ISO10110[2-5]中。峰谷值和均方根值的應(yīng)用廣泛,可

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本文編號：921828