本文關鍵詞：三軸電容式微加速度計接口ASIC設計

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【摘要】：基于CSMC0.5um CMOS工藝,給出了一款3軸電容式微加速度計接口ASIC的詳細設計方案。利用時分復用技術實現(xiàn)了使用同一電路模塊同時檢測3個軸向的加速度信號,利用相關雙倍采樣技術提高了電容電壓轉換的分辨率,利用Sigma_Delta調制技術對電路噪聲進行有效整形。仿真得到系統(tǒng)的分辨率為0.91 a F/Hz1/2,3個軸向的噪聲密度分別為43.60μg/Hz1/2、43.60μg/Hz1/2和45.70μg/Hz1/2,3個軸向輸出數(shù)字脈沖信號占空比的非線性度分別為1.38%、0.91%和1.79%。
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學電子科學與應用物理學院安徽省MEMS工程技術研究中心;
【關鍵詞】： 三軸微加速度計 接口ASIC 時分復用 相關雙倍采樣 Sigma_Delta
【基金】：國家863計劃項目(2013AA041101)資助項目
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： 1引言由3個單軸組合而成的3軸加速度計由于體積大、精度低和可靠性差等原因逐漸被淘汰,取而代之的是基于CMOS工藝的單片集成3軸微加速度計和基于體硅工藝并將敏感結構單元與接口電路封裝在一起的3軸微加速度計[1]。相較于壓電式和壓阻式,電容式微加速度計具有靈敏度高、溫度漂

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本文編號：913309