本文關(guān)鍵詞：三軸電容式微加速度計(jì)接口ASIC設(shè)計(jì)

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【摘要】：基于CSMC0.5um CMOS工藝,給出了一款3軸電容式微加速度計(jì)接口ASIC的詳細(xì)設(shè)計(jì)方案。利用時(shí)分復(fù)用技術(shù)實(shí)現(xiàn)了使用同一電路模塊同時(shí)檢測3個(gè)軸向的加速度信號(hào),利用相關(guān)雙倍采樣技術(shù)提高了電容電壓轉(zhuǎn)換的分辨率,利用Sigma_Delta調(diào)制技術(shù)對電路噪聲進(jìn)行有效整形。仿真得到系統(tǒng)的分辨率為0.91 a F/Hz1/2,3個(gè)軸向的噪聲密度分別為43.60μg/Hz1/2、43.60μg/Hz1/2和45.70μg/Hz1/2,3個(gè)軸向輸出數(shù)字脈沖信號(hào)占空比的非線性度分別為1.38%、0.91%和1.79%。
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學(xué)電子科學(xué)與應(yīng)用物理學(xué)院安徽省MEMS工程技術(shù)研究中心;
【關(guān)鍵詞】： 三軸微加速度計(jì) 接口ASIC 時(shí)分復(fù)用 相關(guān)雙倍采樣 Sigma_Delta
【基金】：國家863計(jì)劃項(xiàng)目(2013AA041101)資助項(xiàng)目
【分類號(hào)】：TH824.4
【正文快照】： 1引言由3個(gè)單軸組合而成的3軸加速度計(jì)由于體積大、精度低和可靠性差等原因逐漸被淘汰,取而代之的是基于CMOS工藝的單片集成3軸微加速度計(jì)和基于體硅工藝并將敏感結(jié)構(gòu)單元與接口電路封裝在一起的3軸微加速度計(jì)[1]。相較于壓電式和壓阻式,電容式微加速度計(jì)具有靈敏度高、溫度漂

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4 劉曉e，

本文編號(hào)：913309