抗非均勻反射擾動(dòng)復(fù)色差動(dòng)超分辨共焦顯微傳感機(jī)理研究
本文關(guān)鍵詞:抗非均勻反射擾動(dòng)復(fù)色差動(dòng)超分辨共焦顯微傳感機(jī)理研究
更多相關(guān)文章: 傳感機(jī)理 共焦 超分辨 復(fù)色 旁瓣抑制 濾波器設(shè)計(jì) 項(xiàng)目批準(zhǔn)號(hào) 耦合機(jī)理 微米尺度 線性區(qū)
【摘要】:正項(xiàng)目負(fù)責(zé)人:劉儉(E-mail:liujian@hit.edu.cn)依托單位:哈爾濱工業(yè)大學(xué)項(xiàng)目批準(zhǔn)號(hào):509050481.項(xiàng)目簡(jiǎn)介針對(duì)不同材料基底、混合材料、摻雜結(jié)構(gòu)以及曲面浮雕結(jié)構(gòu)的微米及亞微米尺度大臺(tái)階元件三維結(jié)構(gòu)參數(shù)測(cè)量傳感機(jī)理問(wèn)題,開(kāi)展抗非均勻反射擾動(dòng)特性的光學(xué)共焦傳感方法研究。研究工作揭示了抗擾動(dòng)特性與線性區(qū)間擴(kuò)展和高靈敏度響應(yīng)特性的關(guān)系,描述了復(fù)色照明線性范圍與高靈敏度響應(yīng)特性耦合機(jī)理,理論證明了全局最小化旁瓣抑制濾波器設(shè)計(jì)的充分必要
【關(guān)鍵詞】: 傳感機(jī)理;共焦;超分辨;復(fù)色;旁瓣抑制;濾波器設(shè)計(jì);項(xiàng)目批準(zhǔn)號(hào);耦合機(jī)理;微米尺度;線性區(qū);
【分類號(hào)】:TH741;TP212
【正文快照】: 項(xiàng)目負(fù)責(zé)人:劉儉(E-mail:liujian@hit.edu.cn)依托單位:哈爾濱工業(yè)大學(xué)項(xiàng)目批準(zhǔn)號(hào):509050481.項(xiàng)目簡(jiǎn)介針對(duì)不同材料基底、混合材料、摻雜結(jié)構(gòu)以及曲面浮雕結(jié)構(gòu)的微米及亞微米尺度大臺(tái)階元件三維結(jié)構(gòu)參數(shù)測(cè)量傳感機(jī)理問(wèn)題,開(kāi)展抗非均勻反射擾動(dòng)特性的光學(xué)共焦傳感方法研究。研
【相似文獻(xiàn)】
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,本文編號(hào):909125
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