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抗非均勻反射擾動(dòng)復(fù)色差動(dòng)超分辨共焦顯微傳感機(jī)理研究

發(fā)布時(shí)間:2017-09-24 03:33

  本文關(guān)鍵詞:抗非均勻反射擾動(dòng)復(fù)色差動(dòng)超分辨共焦顯微傳感機(jī)理研究


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【摘要】:正項(xiàng)目負(fù)責(zé)人:劉儉(E-mail:liujian@hit.edu.cn)依托單位:哈爾濱工業(yè)大學(xué)項(xiàng)目批準(zhǔn)號(hào):509050481.項(xiàng)目簡(jiǎn)介針對(duì)不同材料基底、混合材料、摻雜結(jié)構(gòu)以及曲面浮雕結(jié)構(gòu)的微米及亞微米尺度大臺(tái)階元件三維結(jié)構(gòu)參數(shù)測(cè)量傳感機(jī)理問(wèn)題,開(kāi)展抗非均勻反射擾動(dòng)特性的光學(xué)共焦傳感方法研究。研究工作揭示了抗擾動(dòng)特性與線性區(qū)間擴(kuò)展和高靈敏度響應(yīng)特性的關(guān)系,描述了復(fù)色照明線性范圍與高靈敏度響應(yīng)特性耦合機(jī)理,理論證明了全局最小化旁瓣抑制濾波器設(shè)計(jì)的充分必要
【關(guān)鍵詞】傳感機(jī)理;共焦;超分辨;復(fù)色;旁瓣抑制;濾波器設(shè)計(jì);項(xiàng)目批準(zhǔn)號(hào);耦合機(jī)理;微米尺度;線性區(qū);
【分類號(hào)】:TH741;TP212
【正文快照】: 項(xiàng)目負(fù)責(zé)人:劉儉(E-mail:liujian@hit.edu.cn)依托單位:哈爾濱工業(yè)大學(xué)項(xiàng)目批準(zhǔn)號(hào):509050481.項(xiàng)目簡(jiǎn)介針對(duì)不同材料基底、混合材料、摻雜結(jié)構(gòu)以及曲面浮雕結(jié)構(gòu)的微米及亞微米尺度大臺(tái)階元件三維結(jié)構(gòu)參數(shù)測(cè)量傳感機(jī)理問(wèn)題,開(kāi)展抗非均勻反射擾動(dòng)特性的光學(xué)共焦傳感方法研究。研

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1 張文泉,齊永順;傳感器工程[J];中國(guó)機(jī)械工程;1987年04期

2 鮑振武,霍洪濤,劉釗,劉劍飛;單模光纖探針式光學(xué)輪廓儀的基礎(chǔ)研究[J];儀器儀表學(xué)報(bào);2000年01期

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1 沈文杰;用于黏度檢測(cè)的光纖布拉格光柵解調(diào)系統(tǒng)研究[D];天津大學(xué);2012年

2 牛頓;液相原子力顯微鏡懸臂梁動(dòng)態(tài)特性與成像分析[D];中國(guó)科學(xué)技術(shù)大學(xué);2011年

3 吳媚;光纖微彎位移傳感器的設(shè)計(jì)和分析[D];天津大學(xué);2012年

4 賈巍;氣—固兩相流質(zhì)量流量測(cè)量——濃度測(cè)量方法研究[D];東北大學(xué);2009年

5 湯敬;分布式光纖光柵應(yīng)變和溫度同時(shí)測(cè)量的系統(tǒng)研究[D];燕山大學(xué);2004年

6 程寧;基于射流振蕩的微小尺度下流量測(cè)量方法研究[D];中國(guó)計(jì)量學(xué)院;2012年

7 王睿;差動(dòng)共焦顯微成像理論及畸變校正方法研究[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2013年

8 李鵬;面向加速度檢測(cè)的MEMS微環(huán)諧振腔傳感關(guān)鍵技術(shù)研究[D];中北大學(xué);2012年

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本文編號(hào):909125

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