發(fā)布時(shí)間：2017-09-20 23:06

  本文關(guān)鍵詞：高量程壓阻式加速度計(jì)在高溫環(huán)境下的失效研究

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【摘要】：針對(duì)高量程壓阻式加速度傳感器在高溫環(huán)境下的失效問(wèn)題,分析了高溫對(duì)高量程加速度計(jì)的影響,得出的失效模式為:高溫導(dǎo)致固支梁的翹曲或變形;溫度變化引起壓敏電阻的變化進(jìn)而導(dǎo)致傳感器輸出漂移甚至輸出失效;測(cè)量電路板在高溫下變得扭曲或者導(dǎo)電層的分離。然后,利用ANSYS對(duì)固支梁和電路板進(jìn)行仿真,得出各模塊在200℃的溫度沖擊下結(jié)構(gòu)的動(dòng)態(tài)響應(yīng),并通過(guò)高溫步進(jìn)應(yīng)力試驗(yàn)進(jìn)行驗(yàn)證,得出傳感器的工作極限為150℃,破壞極限為160℃。
【作者單位】： 北華航天工業(yè)學(xué)院計(jì)算機(jī)科學(xué)與工程系;
【關(guān)鍵詞】： 高量程加速度計(jì) 高溫 壓敏電阻 傳感器結(jié)構(gòu) 固支梁 失效研究
【分類號(hào)】：TH824.4;TP212
【正文快照】： 0引言高量程加速度傳感器是指具有大動(dòng)態(tài)測(cè)量范圍的加速度計(jì),范圍在幾百g到上萬(wàn)g,甚至高達(dá)幾十萬(wàn)g,主要用于侵徹彈藥引信在預(yù)定層數(shù)的起爆、檢測(cè)爆炸的沖擊過(guò)程及武器研制過(guò)程中的沖擊過(guò)載測(cè)試等領(lǐng)域。加速度傳感器應(yīng)用在上述領(lǐng)域時(shí),不僅承受高沖擊作用,通常受高溫、濕度等綜

【參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前3條

1 高健飛;熊繼軍;郭濤;范波;;微加速度計(jì)在沖擊環(huán)境下的可靠性研究[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2008年02期

2 唐軍;趙銳;石云波;劉俊;;高沖擊環(huán)境下MEMS大量程加速度傳感器結(jié)構(gòu)的失效分析[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2012年04期

3 陳員娥;劉晴晴;馬喜宏;李長(zhǎng)龍;;溫濕度環(huán)境下高量程加速度計(jì)可靠性研究[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2013年06期

【共引文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 王世濤;賈玉斌;張斌珍;黃欽文;郝一龍;;微加速度計(jì)沖擊可靠性及防護(hù)[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2010年12期

2 王曉倩;李鵬;孟祥然;徐鵬飛;馮薪霖;薛晨陽(yáng);閆樹(shù)斌;;高g光學(xué)微腔加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2012年08期

3 石云波;趙銳;唐軍;劉俊;李科杰;;單片三軸大量程加速度傳感器性能測(cè)試與分析[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2012年09期

4 趙小龍;馬鐵華;范錦彪;;高g值加速度計(jì)在高沖擊下的失效特性的研究[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2012年12期

5 陳員娥;劉晴晴;馬喜宏;李長(zhǎng)龍;;溫濕度環(huán)境下高量程加速度計(jì)可靠性研究[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2013年06期

6 馬可貞;李明慧;趙宇;郭澤彬;閆樹(shù)斌;張文棟;;高靈敏集成光學(xué)加速度計(jì)的優(yōu)化設(shè)計(jì)[J];傳感器與微系統(tǒng);2014年05期

7 董勝飛;石云波;周智君;李策;李祥;;差分式MEMS面內(nèi)加速度計(jì)設(shè)計(jì)[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2014年07期

8 于麗霞;秦麗;劉俊;王孟美;;隨機(jī)振動(dòng)環(huán)境中雙端四梁結(jié)構(gòu)微加速度計(jì)的壽命預(yù)測(cè)方法[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2014年09期

9 李祥;石云波;董勝飛;李策;趙峗;;基于微梁的面內(nèi)高g值加速度計(jì)設(shè)計(jì)[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2014年10期

10 胡向南;祖靜;張瑜;黃慧;;電子測(cè)壓器倒置開(kāi)關(guān)的可靠性研究[J];電子器件;2014年06期

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前3條

1 馬滄海;紫外光輔助低溫硅片直接鍵合研究[D];華中科技大學(xué);2008年

2 徐香菊;復(fù)合量程微加速度計(jì)抗高過(guò)載技術(shù)研究[D];中北大學(xué);2013年

3 劉恒;侵徹引信的空穴識(shí)別算法及電路設(shè)計(jì)[D];中北大學(xué);2014年

【二級(jí)參考文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 董培濤;周偉;李昕欣;張屯國(guó);王躍林;封松林;李圣怡;;三梁-質(zhì)量塊敏感結(jié)構(gòu)高性能壓阻式碰撞加速度計(jì)[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2007年08期

2 高健飛;熊繼軍;郭濤;范波;;微加速度計(jì)在沖擊環(huán)境下的可靠性研究[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2008年02期

3 趙銳;石云波;唐軍;劉俊;;MEMS面內(nèi)大量程加速度傳感器設(shè)計(jì)與分析[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2011年08期

4 齊虹,王蘊(yùn)輝,易德興,王善慈;硅壓力傳感器的可靠性試驗(yàn)方法及失效分析[J];傳感器技術(shù);2001年04期

5 俞必強(qiáng);翁海珊;李疆;;微加速度計(jì)粘附問(wèn)題的研究及應(yīng)用[J];傳感器與微系統(tǒng);2006年06期

6 秦麗;孟召麗;吳永亮;;基于振動(dòng)傳感器性能退化數(shù)據(jù)的可靠性評(píng)估[J];傳感器與微系統(tǒng);2009年09期

7 張偉;溫、濕、振三綜合環(huán)境試驗(yàn)技術(shù)的應(yīng)用[J];電子產(chǎn)品可靠性與環(huán)境試驗(yàn);2004年06期

8 劉加凱;齊杏林;王波;;溫度應(yīng)力對(duì)MEMS器件分層失效的影響規(guī)律[J];電子元件與材料;2013年03期

9 盧小艷;陸山;;基于威布爾分布k故障試驗(yàn)的壽命可靠性評(píng)估[J];機(jī)械設(shè)計(jì)與研究;2005年06期

10 石云波;祁曉瑾;劉俊;孟美玉;;微型高過(guò)載加速度傳感器的加工與測(cè)試[J];機(jī)械工程學(xué)報(bào);2008年09期

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前1條

1 祁曉瑾;MEMS高g值加速度傳感器研究[D];中北大學(xué);2007年

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 于治會(huì);關(guān)于加速度計(jì)參數(shù)的選定[J];航空兵器;2002年06期

2 馬欣龍,王永梁;梳齒式微機(jī)械力平衡加速度計(jì)[J];中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào);2002年03期

3 姜復(fù)興,任順清;加速度計(jì)指北技術(shù)研究[J];中國(guó)慣性技術(shù)學(xué)報(bào);2002年05期

4 劉宗林,吳學(xué)忠,李圣怡;叉指式微硅加速度計(jì)的參數(shù)化設(shè)計(jì)[J];微納電子技術(shù);2003年Z1期

5 曾昭君,石進(jìn)杰;一種抗大過(guò)載微型加速度計(jì)研究[J];微納電子技術(shù);2003年Z1期

6 于治會(huì);關(guān)于加速度計(jì)參數(shù)的選定[J];電氣傳動(dòng)自動(dòng)化;2003年03期

7 侯美麗,楊建輝,第五興樂(lè);確認(rèn)姿態(tài)的雙向微型加速度計(jì)[J];中國(guó)測(cè)試技術(shù);2003年05期

8 蔣玉齊,程迎軍,許薇,張?chǎng)H,李昕欣,羅樂(lè);高量程MEMS加速度計(jì)封裝工藝研究[J];傳感器技術(shù);2005年02期

9 趙巖;翟百臣;武克用;陳濤;;加速度計(jì)在非陀螺尋北系統(tǒng)中的應(yīng)用研究[J];兵工學(xué)報(bào);2006年02期

10 趙立業(yè);周百令;;加速度計(jì)標(biāo)定中低成本數(shù)據(jù)采集處理系統(tǒng)的設(shè)計(jì)[J];計(jì)量技術(shù);2006年04期

中國(guó)重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 曹慧丹;沈昱明;賴際舟;;微硅加速度計(jì)標(biāo)定及試驗(yàn)研究[A];第六屆全國(guó)信息獲取與處理學(xué)術(shù)會(huì)議論文集（2）[C];2008年

2 索智群;喬?hào)|海;;力平衡模擬反饋電容加速度計(jì)的研究[A];2010’中國(guó)西部聲學(xué)學(xué)術(shù)交流會(huì)論文集[C];2010年

3 劉惠蘭;林恒;李莉;張春熹;;光學(xué)加速度計(jì)的技術(shù)及發(fā)展[A];慣性技術(shù)發(fā)展動(dòng)能發(fā)展方向研討會(huì)論文集[C];2004年

4 劉惠蘭;林恒;李莉;張春熹;;光學(xué)加速度計(jì)的技術(shù)研究與發(fā)展[A];2004全國(guó)光學(xué)與光電子學(xué)學(xué)術(shù)研討會(huì)、2005全國(guó)光學(xué)與光電子學(xué)學(xué)術(shù)研討會(huì)、廣西光學(xué)學(xué)會(huì)成立20周年年會(huì)論文集[C];2005年

5 錢(qián)朋安;;一體化多維加速度計(jì)研究的若干問(wèn)題分析[A];中國(guó)儀器儀表學(xué)會(huì)第九屆青年學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2007年

6 宋長(zhǎng)福;嚴(yán)小軍;韓豐田;郭曉芳;馬高印;;硅微靜電懸浮加速度計(jì)關(guān)鍵技術(shù)研究[A];微機(jī)電慣性技術(shù)的發(fā)展現(xiàn)狀與趨勢(shì)——慣性技術(shù)發(fā)展動(dòng)態(tài)發(fā)展方向研討會(huì)文集[C];2011年

7 李建飛;薛兵;張俊峰;朱小毅;王曉蕾;;應(yīng)用于MEMS加速度計(jì)的小型恒溫系統(tǒng)的實(shí)現(xiàn)[A];中國(guó)地震學(xué)會(huì)第14次學(xué)術(shù)大會(huì)專題[C];2012年

8 周澤兵;祝竺;;靜電懸浮加速度計(jì)研究[A];中國(guó)地球物理2013——第二十六專題論文集[C];2013年

9 薛旭;李丹東;劉國(guó)文;萬(wàn)蔡辛;張承亮;;MEMS加速度計(jì)工程樣機(jī)的研制[A];慣性技術(shù)發(fā)展動(dòng)態(tài)發(fā)展方向研討會(huì)文集——新世紀(jì)慣性技術(shù)在國(guó)民經(jīng)濟(jì)中的應(yīng)用[C];2012年

10 張亮;陸秋海;;靜電懸浮式電容差分加速度計(jì)測(cè)量原理與動(dòng)特性設(shè)計(jì)[A];第九屆全國(guó)振動(dòng)理論及應(yīng)用學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];2007年

中國(guó)重要報(bào)紙全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前5條

1 包秋紅;加速度計(jì)測(cè)試的加速者[N];中國(guó)航空?qǐng)?bào);2004年

2 唐新培;“黑黢俠”再顯神威[N];中國(guó)航天報(bào);2012年

3 黃忠魁 付秀娟 本報(bào)記者 徐建華;“敏感精靈”助力嫦娥探月[N];中國(guó)質(zhì)量報(bào);2014年

4 唐新培;搬走“三座山” 促成“太空吻”[N];中國(guó)航天報(bào);2011年

5 北京弗歐弗奧信息咨詢有限公司 譚薇;MEMS傳感器大規(guī)模應(yīng)用指日可待[N];中國(guó)電子報(bào);2006年

中國(guó)博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前7條

1 蔣玉齊;高量程MEMS加速度計(jì)封裝研究[D];中國(guó)科學(xué)院研究生院（上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所）;2004年

2 楊杰;無(wú)陀螺捷聯(lián)慣導(dǎo)系統(tǒng)加速度計(jì)構(gòu)型研究與誤差分析[D];哈爾濱工程大學(xué);2011年

3 張習(xí)文;微小型加速度計(jì)的精密裝配及影響性能的因素研究[D];大連理工大學(xué);2013年

4 劉志平;無(wú)陀螺捷聯(lián)慣導(dǎo)系統(tǒng)若干關(guān)鍵技術(shù)研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2010年

5 李博;基于共振隧穿結(jié)構(gòu)介觀壓阻效應(yīng)的納機(jī)電加速度計(jì)研究[D];中北大學(xué);2008年

6 劉力;慣性傳感器扭擺測(cè)試中地面振動(dòng)和放電金絲的影響研究[D];華中科技大學(xué);2012年

7 王世明;基于離心機(jī)的慣性儀表測(cè)試方法研究與誤差分析[D];哈爾濱工業(yè)大學(xué);2014年

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前10條

1 胡紅革;硅撓性伺服加速度計(jì)設(shè)計(jì)[D];電子科技大學(xué);2002年

2 李園晴;懸絲支承加速度計(jì)溫度誤差建模及補(bǔ)償研究[D];上海交通大學(xué);2011年

3 王巍;高精度加速度計(jì)測(cè)量系統(tǒng)的分析與設(shè)計(jì)[D];哈爾濱工程大學(xué);2011年

4 游俠飛;MEMS加速度計(jì)溫度場(chǎng)及殘余應(yīng)力模型研究[D];浙江大學(xué);2012年

5 陸陽(yáng);高精度加速度計(jì)采集單元的設(shè)計(jì)及關(guān)鍵器件的研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2009年

6 席晉;加速度計(jì)數(shù)據(jù)采集與溫度補(bǔ)償技術(shù)研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2009年

7 解啟瞻;捷聯(lián)慣導(dǎo)系統(tǒng)中石英加速度計(jì)溫漂補(bǔ)償研究[D];重慶大學(xué);2009年

8 莊瑞芬;硅微諧振式加速度計(jì)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)技術(shù)研究[D];南京理工大學(xué);2009年

9 李發(fā)明;光學(xué)加速度計(jì)方案的初步研究[D];國(guó)防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2009年

10 韓小菊;聲表面波加速度計(jì)的溫度誤差及補(bǔ)償方法研究[D];西安科技大學(xué);2009年

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本文編號(hào)：890913