發(fā)布時(shí)間：2017-09-20 19:39

  本文關(guān)鍵詞：電熱式微機(jī)電系統(tǒng)微鏡傅里葉變換紅外光譜儀

  更多相關(guān)文章： 電熱驅(qū)動(dòng) MEMS微鏡 傅里葉變換紅外光譜儀 基線噪聲 吸光度

【摘要】：為了研制小體積、低成本、高分辨率的微型傅里葉變換紅外光譜儀,通過(guò)選擇電熱式微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)微鏡作為邁克爾遜干涉儀動(dòng)鏡,在滿足了傅里葉光譜儀小型化、便攜化的同時(shí),利用折疊雙S型Bimorph驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)來(lái)實(shí)現(xiàn)雙倍位移量以確保較高分辨率,并將分束器外置來(lái)進(jìn)行不同波段的靈活選擇,進(jìn)而實(shí)現(xiàn)全光譜范圍的應(yīng)用。以1 310 nm激光作為參考光光源,鎢燈寬帶光作為待測(cè)光源信號(hào),通過(guò)信號(hào)采集、濾波、插值、光譜恢復(fù)步驟完成原始信號(hào)采集到光譜信號(hào)復(fù)原的過(guò)程。測(cè)試結(jié)果表明:電熱式微鏡的位移量可達(dá)到500μm,光譜理論分辨率1 nm,光譜儀整機(jī)尺寸小至62 mm×62 mm×28 mm。測(cè)試基線噪聲為0.000 04,基線重復(fù)性為0.000 32,吸光度重復(fù)性為0.000 48。性能指標(biāo)能滿足食品安全、藥品檢測(cè)、石油化工等領(lǐng)域的光譜檢測(cè)應(yīng)用。
【作者單位】： 貴州大學(xué)大數(shù)據(jù)與信息工程學(xué)院;貴州省光電子技術(shù)及應(yīng)用重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;無(wú)錫微奧科技有限公司;
【關(guān)鍵詞】： 電熱驅(qū)動(dòng) MEMS微鏡 傅里葉變換紅外光譜儀 基線噪聲 吸光度
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(11204046) 國(guó)際合作研究項(xiàng)目(2014DFA00670) 國(guó)家儀器研究專項(xiàng)基金(2011YQ03012407)
【分類號(hào)】：TH744.1
【正文快照】： 0引言光譜儀是一種通過(guò)光譜信息分析物質(zhì)對(duì)光作用特征的儀器,可檢測(cè)不同物質(zhì)化學(xué)組分光譜信息。16世紀(jì)牛頓發(fā)現(xiàn)了太陽(yáng)光的色散現(xiàn)象,利用棱鏡將太陽(yáng)光成功分成幾種不同顏色的光,奠定了光譜學(xué)的基礎(chǔ)。18世紀(jì)克西霍夫(Gustav Robert Kirchhoff)設(shè)計(jì)了世界上第一臺(tái)光譜儀[1]。隨著

【相似文獻(xiàn)】

中國(guó)期刊全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前6條

1 趙建平,陳花玲,陳玲莉,陳天寧;微鏡扭轉(zhuǎn)-彎曲耦合變形靜態(tài)特性分析[J];西安交通大學(xué)學(xué)報(bào);2003年11期

2 李曉瑩;孫瑞康;燕斌;喬大勇;;一種垂直梳齒驅(qū)動(dòng)V型梁微鏡設(shè)計(jì)(英文)[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2011年05期

3 余洪斌,陳海清;具有多運(yùn)動(dòng)自由度的新型多功能微鏡[J];半導(dǎo)體學(xué)報(bào);2005年04期

4 單學(xué)傳,前田龍?zhí)?池原毅;基于ICP工藝的垂直微小硅鏡的加工(英文)[J];納米技術(shù)與精密工程;2005年01期

5 席慶奎;陳磊;朱日宏;;基于數(shù)字微鏡器件的朗契檢驗(yàn)[J];紅外與激光工程;2006年03期

6 ;[J];;年期

中國(guó)碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫(kù) 前7條

1 劉佳明;大角度微鏡的評(píng)估與分析[D];揚(yáng)州大學(xué);2013年

2 劉霞芳;數(shù)字微鏡的動(dòng)力分析[D];西安電子科技大學(xué);2007年

3 梁建秋;扭臂式微鏡的建模與優(yōu)化[D];西安電子科技大學(xué);2013年

4 羅偉;MEMS扭轉(zhuǎn)微鏡溫度效應(yīng)的仿真分析[D];江西理工大學(xué);2014年

5 陸靜;MEMS扭轉(zhuǎn)微鏡的力學(xué)特性分析[D];哈爾濱工程大學(xué);2007年

6 李文翔;激光掃描顯示MEMS微鏡研究[D];大連理工大學(xué);2012年

7 裴旦;光學(xué)自適應(yīng)微鏡的設(shè)計(jì)與制造工藝[D];浙江大學(xué);2006年

，

本文編號(hào)：890052