本文關(guān)鍵詞：濕度對微型加速度計(jì)粘連失效的影響

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【摘要】：粘連是微/納器件的一種典型失效模式,由于濕度引起的粘連失效占很大比例。以MEMS擺式加速度計(jì)為模型,分析了濕度引起粘連失效的機(jī)理,主要是毛細(xì)黏性力的影響。為了研究材料性質(zhì)和粗糙度對粘連的影響,對比鎢(W)、鋁銅(AlCu)和鋁(Al)3種不同電極材料,發(fā)現(xiàn)Al電極材料表面接觸角和表面粗糙度都很大,對應(yīng)芯片的粘連比例較少。利用HMDS對粘連芯片內(nèi)表面進(jìn)行疏水處理,有效減少了粘連比例。研究表明選用接觸角大的電極材料、增加電極表面粗糙度和表面疏水處理均能有效減少毛細(xì)黏性力為主導(dǎo)的粘連。
【作者單位】： 西安飛行自動(dòng)控制研究所;
【關(guān)鍵詞】： MEMS 粘連 毛細(xì)黏性力 粗糙度 HMDS(六甲基二硅胺烷)
【基金】：863預(yù)研課題項(xiàng)目(2011AA110102) 國家國際科技合作項(xiàng)目專項(xiàng)項(xiàng)目(2011DFA72370)
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： 表面粘連是微/納器件失效的一種重要形式,引起粘連的表面力很多,最常見的幾種力是毛細(xì)黏性力,范德華力,靜電力和機(jī)械力等.在這幾種表面力中,毛細(xì)黏性力和范德華力是導(dǎo)致微/納器件失效的兩種主要形式,在RF-MEMS器件和MEMS加速度計(jì)工作過程中,以及MEMS陀螺結(jié)構(gòu)釋放過程中比較常

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本文編號：882289