本文關(guān)鍵詞：一種新型三維微位移工作臺的設(shè)計(jì)和分析

  更多相關(guān)文章： 三維微位移工作臺 驅(qū)動(dòng)器固定 耦合運(yùn)動(dòng) 有限元

【摘要】：為了解決微位移工作臺的三維耦合問題,設(shè)計(jì)了一種驅(qū)動(dòng)器固定的三維無耦合微位移工作臺.本文介紹了它的結(jié)構(gòu)和工作原理,通過有限元分析計(jì)算和樣機(jī)實(shí)測驗(yàn)證,分別在X方向,X、Y方向和X、Y、Z方向施加載荷時(shí),三維微位移工作臺在X方向的位移不變,解決了三維空間運(yùn)動(dòng)耦合問題;分別在X、Y、Z方向施加不同載荷時(shí),得到了工作臺X、Y、Z方向的剛度,驗(yàn)證了工作臺的位移、最大等效應(yīng)力與載荷成正比.樣機(jī)實(shí)測結(jié)果與有限元計(jì)算結(jié)果相吻合,工作臺符合設(shè)計(jì)要求.
【作者單位】： 合肥工業(yè)大學(xué)機(jī)械與汽車工程學(xué)院;合肥工業(yè)大學(xué)化學(xué)工程學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 三維微位移工作臺 驅(qū)動(dòng)器固定 耦合運(yùn)動(dòng) 有限元
【基金】：國家大學(xué)生創(chuàng)新性實(shí)驗(yàn)計(jì)劃資助項(xiàng)目(201210359001)
【分類號】：TH703
【正文快照】： 微位移技術(shù)是精密機(jī)械與精密儀器的關(guān)鍵技術(shù)之一.高精度和高分辨率的精密、超精密微位移系統(tǒng)在微機(jī)電系統(tǒng)、掃描探測顯微鏡、超精密加工、光學(xué)元件制造以及生物醫(yī)學(xué)工程等尖端工業(yè)生產(chǎn)和科學(xué)研究領(lǐng)域內(nèi)得到廣泛應(yīng)用.例如,近年來微電子技術(shù)向超大規(guī)模集成電路方向發(fā)展,線條寬度

【參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前5條

1 沈健;尹大亮;朱仁勝;趙韓;;新型微步進(jìn)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器的設(shè)計(jì)與分析計(jì)算[J];合肥工業(yè)大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2010年05期

2 王剛,徐穎,張傳英;一種三維微位移操作器[J];機(jī)械設(shè)計(jì);2000年05期

3 于靖軍;裴旭;畢樹生;宗光華;張憲民;;柔性鉸鏈機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)方法的研究進(jìn)展[J];機(jī)械工程學(xué)報(bào);2010年13期

4 葛文勛;叢鵬;;微機(jī)電系統(tǒng)發(fā)展動(dòng)向[J];納米技術(shù)與精密工程;2007年03期

5 沈健,朱仁勝,趙韓;單自由度微位移機(jī)構(gòu)柔性鉸鏈的研究[J];上海交通大學(xué)學(xué)報(bào);2004年06期

【共引文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 權(quán)哲浩;林玉池;趙美蓉;李光鮮;齊永岳;;大行程納米級步進(jìn)壓電微動(dòng)臺的特性研究[J];傳感器與微系統(tǒng);2008年02期

2 王喜珍;滕云田;;地震傳感器的新技術(shù)與發(fā)展[J];地球物理學(xué)進(jìn)展;2010年02期

3 王立森;白素平;喬月;徐文慧;范鐸;;裝甲車裝配基準(zhǔn)定標(biāo)技術(shù)研究[J];硅谷;2011年23期

4 夏志輝;張?jiān)?杜文浩;關(guān)微微;;單晶金剛石刀具研磨多功能夾具系統(tǒng)的研制[J];工具技術(shù);2006年02期

5 柳華;劉偉奇;馮睿;魏忠倫;張健;;柔性雙補(bǔ)償桿式動(dòng)鏡支撐機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)[J];光學(xué)精密工程;2011年06期

6 何玉琳,章海軍,林曉峰;壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的微步進(jìn)機(jī)構(gòu)研制[J];光學(xué)儀器;2004年04期

7 賈明;楊功流;;基于約束線圖的超導(dǎo)重力梯度敏感結(jié)構(gòu)型綜合[J];北京航空航天大學(xué)學(xué)報(bào);2012年12期

8 胡俊峰;張憲民;;3自由度精密定位平臺的運(yùn)動(dòng)特性和優(yōu)化設(shè)計(jì)[J];光學(xué)精密工程;2012年12期

9 張昔峰;黃強(qiáng)先;袁鈺;黃帥;;具有角度修正功能的大行程二維納米工作臺[J];光學(xué)精密工程;2013年07期

10 張琳;彭銳;李茜茜;劉楨;;一種基于叉指電極的大腸桿菌生物傳感器[J];長沙大學(xué)學(xué)報(bào);2013年05期

中國重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 郭瑞琴;林松;;新型二構(gòu)件傳動(dòng)機(jī)構(gòu)特性研究[A];第9屆中國機(jī)構(gòu)與機(jī)器科學(xué)應(yīng)用國際會(huì)議（CCAMMS 2011）暨中國輕工機(jī)械協(xié)會(huì)科技研討會(huì)論文集[C];2011年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 孫麗波;微板多物理場耦合非線性動(dòng)力學(xué)研究[D];燕山大學(xué);2011年

2 周擎坤;柔順直線導(dǎo)向與緩沖機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)問題研究[D];國防科學(xué)技術(shù)大學(xué);2011年

3 柳華;一種新型紅外傅里葉光譜儀全柔性動(dòng)鏡系統(tǒng)的仿真設(shè)計(jì)與分析[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2011年

4 賈宏光;基于變比模型的壓電驅(qū)動(dòng)微位移工作臺控制方法研究[D];中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;2000年

5 常穎;超聲波軸承懸浮與減摩作用機(jī)理及基礎(chǔ)實(shí)驗(yàn)研究[D];吉林大學(xué);2005年

6 權(quán)哲浩;納米級步進(jìn)壓電微動(dòng)臺結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與性能分析研究[D];天津大學(xué);2007年

7 孫吉勇;MEMS光柵光調(diào)制器陣列及投影顯示系統(tǒng)的光學(xué)分析和實(shí)驗(yàn)[D];重慶大學(xué);2008年

8 史玲娜;基于LED照明的MEMS光柵光調(diào)制器的光學(xué)投影系統(tǒng)分析與設(shè)計(jì)[D];重慶大學(xué);2009年

9 曹佃生;高精度大行程柔性位移平臺技術(shù)研究[D];中國科學(xué)院研究生院（長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所）;2012年

10 谷國迎;壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)微位移平臺的磁滯補(bǔ)償控制理論和方法研究[D];上海交通大學(xué);2012年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 吳佳杰;基于壓電驅(qū)動(dòng)的多自由度微操縱平臺及其測控技術(shù)的研究[D];浙江大學(xué);2011年

2 劉振;Small Tools結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與分析[D];吉林大學(xué);2011年

3 齊爽;壓電驅(qū)動(dòng)型數(shù)控銑削精密補(bǔ)償單元結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)與分析研究[D];吉林大學(xué);2011年

4 陳沛;基于超磁致伸縮致動(dòng)器的流量控制閥的設(shè)計(jì)與研究[D];武漢理工大學(xué);2011年

5 朱明;適用于微位移機(jī)構(gòu)的彈性鉸鏈特性分析及試驗(yàn)研究[D];南京航空航天大學(xué);2011年

6 李雅楠;彈性鉸鏈康復(fù)機(jī)構(gòu)剛度特性與動(dòng)力學(xué)研究[D];燕山大學(xué);2012年

7 房增華;納米級MEMS定位平臺的驅(qū)動(dòng)與控制方法研究[D];哈爾濱工程大學(xué);2011年

8 羅維;二自由度柔性鉸鏈連桿機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)方法與綜合特性研究[D];中北大學(xué);2012年

9 陶惠峰;超精密微位移系統(tǒng)研究[D];浙江大學(xué);2003年

10 姚燕生;多自由度微位移工作臺的研究[D];合肥工業(yè)大學(xué);2003年

【二級參考文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前5條

1 于靖軍,畢樹生,宗光華;空間全柔性機(jī)構(gòu)位置分析的剛度矩陣法[J];北京航空航天大學(xué)學(xué)報(bào);2002年03期

2 劉建芳;楊志剛;趙宏偉;程光明;;新型壓電精密步進(jìn)旋轉(zhuǎn)驅(qū)動(dòng)器[J];吉林大學(xué)學(xué)報(bào)(工學(xué)版);2006年05期

3 郭吉豐,陳維新,陳永校;柔性機(jī)械臂用壓電驅(qū)動(dòng)器實(shí)現(xiàn)精密定位控制的研究——解析模型、作業(yè)空間和可操作性分析[J];機(jī)器人;1998年03期

4 ;KINEMATICS FEATURE ANALYSIS OF A 3-DOF COMPLIANT MECHANISM FOR MICRO MANIPULATION[J];Chinese Journal of Mechanical Engineering;2004年01期

5 ;Novel Annulus-shaped Flexure Pivot in Rotation Application and Dimensionless Design[J];Chinese Journal of Mechanical Engineering;2009年06期

【相似文獻(xiàn)】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 于水,李慶祥,白立芬;微位移工作臺靜、動(dòng)態(tài)特性實(shí)驗(yàn)系統(tǒng)[J];實(shí)驗(yàn)技術(shù)與管理;2001年04期

2 康東;微位移機(jī)構(gòu)中的“機(jī)械爬行”[J];四川工業(yè)學(xué)院學(xué)報(bào);2001年04期

3 趙韓,呂召全,沈健;壓電式微位移機(jī)構(gòu)的現(xiàn)狀與趨勢[J];現(xiàn)代機(jī)械;2001年04期

4 馬靜華;葛運(yùn)建;吳仲城;孟明;沈春山;申飛;石振;;一種二維微位移平臺測量系統(tǒng)的研究[J];傳感技術(shù)學(xué)報(bào);2005年04期

5 張斌;李士進(jìn);貢玉杰;王德昌;;壓電雙晶片型微位移放大機(jī)構(gòu)研究[J];熱處理技術(shù)與裝備;2011年02期

6 彭建華;;測量微位移有了先進(jìn)手段[J];機(jī)械科學(xué)與技術(shù);1990年02期

7 彭建華;;測量微位移有了先進(jìn)手段[J];機(jī)械科學(xué)與技術(shù);1990年02期

8 王鳴,聶守平,李明,李達(dá)成;自混合干涉微位移傳感器[J];儀器儀表學(xué)報(bào);2004年04期

9 鄒文棟;趙立忠;;白光干涉檢測儀微位移系統(tǒng)的精確控制方案[J];南昌航空大學(xué)學(xué)報(bào)(自然科學(xué)版);2008年01期

10 李蓓智;楊永金;楊建國;張家梁;徐源;;精密微位移工作臺的設(shè)計(jì)與性能分析[J];機(jī)械設(shè)計(jì)與研究;2008年04期

中國重要會(huì)議論文全文數(shù)據(jù)庫 前9條

1 肖成榕;張建寰;;微位移機(jī)構(gòu)及其控制技術(shù)研究現(xiàn)狀和發(fā)展[A];福建省科協(xié)第五屆學(xué)術(shù)年會(huì)數(shù)字化制造及其它先進(jìn)制造技術(shù)專題學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2005年

2 王鳴;聶守平;李明;李達(dá)成;;自混合干涉微位移傳感器[A];中國儀器儀表學(xué)會(huì)學(xué)術(shù)論文集[C];2004年

3 王文偉;包文清;胡翹;鄔曉華;黃文浩;;沖擊式微位移機(jī)構(gòu)的性能測試與分析[A];第五屆全國STM學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];1998年

4 孫寶玉;付立成;;基于壓電陶瓷的微位移機(jī)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性研究[A];科技創(chuàng)新與節(jié)能減排——吉林省第五屆科學(xué)技術(shù)學(xué)術(shù)年會(huì)論文集（上冊）[C];2008年

5 楊寧;王恒坤;;一種光電式微位移測量裝置[A];第九屆全國信息獲取與處理學(xué)術(shù)會(huì)議論文集Ⅱ[C];2011年

6 馮慶玉;彭首軍;龔勝平;;高幀速采樣外差干涉微位移測量[A];2010年西部光子學(xué)學(xué)術(shù)會(huì)議摘要集[C];2010年

7 齊峰;雷沅忠;王秋良;余運(yùn)佳;;低溫環(huán)境下超導(dǎo)體微位移測量的研究[A];電工理論與新技術(shù)學(xué)術(shù)年會(huì)論文集[C];2005年

8 王海濤;羅秋鳳;周必方;E.J.Richter;;光纖微位移傳感器及其牙齒咀嚼運(yùn)動(dòng)的測量研究[A];中國儀器儀表學(xué)會(huì)第三屆青年學(xué)術(shù)會(huì)議論文集（下）[C];2001年

9 王世長;林輝;;微位移器用壓電陶瓷研究[A];94'全國結(jié)構(gòu)陶瓷、功能陶瓷、金屬/陶瓷封接學(xué)術(shù)會(huì)議論文集[C];1994年

中國博士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前3條

1 魏強(qiáng);納米定位微位移工作臺的控制技術(shù)研究[D];山東大學(xué);2006年

2 紀(jì)華偉;壓電陶瓷驅(qū)動(dòng)的微位移工作臺建模與控制技術(shù)研究[D];浙江大學(xué);2006年

3 宋殿友;精密PSD微位移在線測量技術(shù)的研究與應(yīng)用[D];天津大學(xué);2012年

中國碩士學(xué)位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 張玲玲;精密微位移調(diào)整系統(tǒng)的設(shè)計(jì)與研究[D];長春理工大學(xué);2009年

2 劉振波;微位移技術(shù)研究[D];長春理工大學(xué);2007年

3 任興亮;新型微位移機(jī)構(gòu)的設(shè)計(jì)和分析計(jì)算[D];合肥工業(yè)大學(xué);2013年

4 朱仁勝;多自由度微位移工作臺仿真的研究[D];合肥工業(yè)大學(xué);2004年

5 黃金永;空間用精密微位移平臺的研究[D];浙江大學(xué);2004年

6 曾彬;摩擦驅(qū)動(dòng)微位移試驗(yàn)平臺的設(shè)計(jì)和研究[D];東華大學(xué);2007年

7 張斌;壓電雙晶片型微位移放大機(jī)構(gòu)研究[D];河南理工大學(xué);2010年

8 王永;大負(fù)荷壓電微位移技術(shù)及其在標(biāo)準(zhǔn)力源上的應(yīng)用研究[D];吉林大學(xué);2007年

9 付春楠;基于壓電驅(qū)動(dòng)的摩擦式微位移工作臺的研究[D];大連理工大學(xué);2010年

10 方小東;基于新型菱形放大機(jī)構(gòu)的微位移工作臺結(jié)構(gòu)研究[D];大連理工大學(xué);2011年

，

本文編號：878237