本文關(guān)鍵詞：被測(cè)件隨機(jī)移相干涉面形測(cè)量方法

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【摘要】：針對(duì)光學(xué)元件的面形測(cè)量,提出了一種被測(cè)件隨機(jī)移相干涉面形測(cè)量法,用于降低移相干涉儀的成本,避免移相器老化產(chǎn)生的移相誤差對(duì)面形檢測(cè)精度的影響。該方法利用微位移驅(qū)動(dòng)器驅(qū)動(dòng)被測(cè)件在摩擦氣浮復(fù)合導(dǎo)軌上移動(dòng)進(jìn)行隨機(jī)移相并用相機(jī)采集若干幅干涉圖;然后利用最小二乘迭代算法處理干涉圖數(shù)據(jù)進(jìn)而迭代出被測(cè)表面相位分布;最后進(jìn)行一系列數(shù)據(jù)處理求解出被測(cè)件的面形結(jié)果。為了驗(yàn)證該方法的可行性,在實(shí)驗(yàn)室搭建了改進(jìn)的斐索移相干涉系統(tǒng),并選用一個(gè)凹面鏡和一個(gè)平面鏡作為被測(cè)件在搭建的系統(tǒng)上進(jìn)行了實(shí)驗(yàn)測(cè)試,同時(shí)與同臺(tái)儀器上的傳統(tǒng)移相方法得到的測(cè)量結(jié)果進(jìn)行了比對(duì)。結(jié)果表明:在激光光源波長(zhǎng)λ為632.8nm的情況下,凹球面鏡面形PV值和RMS值與傳統(tǒng)移相方式測(cè)量結(jié)果相差0.001λ,和0.002λ;平面鏡面形PV值和RMS值與傳統(tǒng)移相方式的測(cè)量結(jié)果相差0.002λ和0.003λ,面形數(shù)據(jù)基本一致。該方法避免了移相器老化引入移相誤差,降低了儀器成本,測(cè)量精度高。
【作者單位】： 北京理工大學(xué)光電學(xué)院;
【關(guān)鍵詞】： 干涉測(cè)量 面形測(cè)量 被測(cè)件 移相器 隨機(jī)移相 最小二乘迭代
【基金】：國(guó)家重大科學(xué)儀器設(shè)備開(kāi)發(fā)專項(xiàng)資助項(xiàng)目(No.61327010) 國(guó)家自然科學(xué)基金青年基金資助項(xiàng)目(No.51405020)
【分類(lèi)號(hào)】：TH744.3
【正文快照】： 1引言在光學(xué)元件檢測(cè)領(lǐng)域,光學(xué)元件表面形貌檢測(cè)占有重要地位,目前主要利用光學(xué)干涉測(cè)量技術(shù)進(jìn)行表面形貌檢測(cè)。傳統(tǒng)的光學(xué)干涉測(cè)量方法主要通過(guò)直接判讀干涉條紋來(lái)測(cè)量被測(cè)面形,精度低、誤差大。20世紀(jì)80年代,Bruning等人提出移相干涉技術(shù),開(kāi)啟了光學(xué)測(cè)量領(lǐng)域的新時(shí)代[1]。隨

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本文編號(hào)：867922