本文關(guān)鍵詞：高精度氣浮支承轉(zhuǎn)動平臺結(jié)構(gòu)設(shè)計及精度測試

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【摘要】：針對中國散裂中子源(Chinese Spallation Neutron Source,CSNS)多功能反射譜儀反射臂對重負(fù)載、大行程及高精度的運動要求,采用氣浮支承加摩擦輪驅(qū)動的組合結(jié)構(gòu)。先通過氣浮支承實現(xiàn)反射臂與地面之間無接觸無摩擦,再通過摩擦輪驅(qū)動實現(xiàn)反射臂繞著樣品臺中心進行精確定位運動。為驗證該方案的可行性進行氣浮支承轉(zhuǎn)動平臺樣機的研制,并通過對氣浮支承轉(zhuǎn)動平臺的精度測試得知在全行程范圍內(nèi)其單向重復(fù)定位精度為0.000 31°,單向定位精度為0.000 9°。試驗結(jié)果表明氣浮支承加摩擦輪驅(qū)動的結(jié)構(gòu)能夠滿足多功能反射譜儀反射臂的運動要求。
【作者單位】： 中國科學(xué)院高能物理研究所東莞分部;東莞中子科學(xué)中心;北京同步輻射實驗室;中國科學(xué)院物理研究所;
【關(guān)鍵詞】： 氣浮支承 摩擦輪驅(qū)動 精度測試
【基金】：中國散裂中子源(CSNS)工程項目經(jīng)費資助
【分類號】：TH703
【正文快照】： 中子反射技術(shù)是通過測量界面薄膜材料對中子的反射分析獲知界面處0.5 500 nm尺度內(nèi)結(jié)構(gòu)成分等信息的先進材料表征技術(shù),反射中子和X光一樣是研究各類薄膜材料結(jié)構(gòu)特性的有力工具[1 2]。在目前的中國散裂中子源工程(Chinese SpallationNeutron Source,CSNS)[3 4]建設(shè)中,多功

【相似文獻(xiàn)】

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1 葉q阽，

本文編號：865299