本文關(guān)鍵詞：MEMS掃描鏡溫度可靠性測(cè)試

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【摘要】：溫度是MEMS掃描鏡的一個(gè)重要失效因素。研究溫度對(duì)MEMS掃描鏡振幅的影響,再通過溫度沖擊試驗(yàn)和高低溫存儲(chǔ)試驗(yàn)測(cè)試溫度對(duì)MEMS掃描鏡可靠性的影響,分析掃描鏡在試驗(yàn)中是否失效和失效的原因。試驗(yàn)結(jié)果表明:高溫對(duì)MEMS掃描鏡外框架和鏡面振幅無影響,低溫對(duì)MEMS掃描鏡外框架振幅影響較大,增幅達(dá)12.3%,對(duì)鏡面振幅無影響;低溫存儲(chǔ)由于水汽凝結(jié)會(huì)導(dǎo)致MEMS掃描鏡失效,高溫存儲(chǔ)對(duì)MEMS掃描鏡可靠性無影響。
【作者單位】： 西北工業(yè)大學(xué)空天微納系統(tǒng)教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;西北工業(yè)大學(xué)陜西省微/納米系統(tǒng)重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;西北工業(yè)大學(xué)深圳研究院;
【關(guān)鍵詞】： MEMS掃描鏡 可靠性 高低溫存儲(chǔ) 溫度沖擊
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(51375399,51375400) 西北工業(yè)大學(xué)基礎(chǔ)研究基金資助項(xiàng)目(JCY20130119) 深圳市財(cái)政委員會(huì)2012年第四批市新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展專項(xiàng)資金基礎(chǔ)研究計(jì)劃項(xiàng)目(JCYJ20120614154203639)
【分類號(hào)】：TH811
【正文快照】： 0引言 都應(yīng)用在航空領(lǐng)域、汽車電子行業(yè)以及其他工業(yè)領(lǐng)域。諸微機(jī)電系統(tǒng)(micro-electro-mechanical system,MEMS)是 多其它試驗(yàn)表明,溫度因素對(duì)電子產(chǎn)品的可靠性有很大影集執(zhí)行器和傳感器等微型裝置、微型機(jī)構(gòu)、微尺度驅(qū)動(dòng)和控 響12]。振幅是掃描鏡的最重要性能參數(shù),本文首先

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號(hào)：861616