本文關(guān)鍵詞：MEMS掃描鏡溫度可靠性測試

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【摘要】：溫度是MEMS掃描鏡的一個重要失效因素。研究溫度對MEMS掃描鏡振幅的影響,再通過溫度沖擊試驗和高低溫存儲試驗測試溫度對MEMS掃描鏡可靠性的影響,分析掃描鏡在試驗中是否失效和失效的原因。試驗結(jié)果表明:高溫對MEMS掃描鏡外框架和鏡面振幅無影響,低溫對MEMS掃描鏡外框架振幅影響較大,增幅達12.3%,對鏡面振幅無影響;低溫存儲由于水汽凝結(jié)會導(dǎo)致MEMS掃描鏡失效,高溫存儲對MEMS掃描鏡可靠性無影響。
【作者單位】： 西北工業(yè)大學(xué)空天微納系統(tǒng)教育部重點實驗室;西北工業(yè)大學(xué)陜西省微/納米系統(tǒng)重點實驗室;西北工業(yè)大學(xué)深圳研究院;
【關(guān)鍵詞】： MEMS掃描鏡 可靠性 高低溫存儲 溫度沖擊
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(51375399,51375400) 西北工業(yè)大學(xué)基礎(chǔ)研究基金資助項目(JCY20130119) 深圳市財政委員會2012年第四批市新一代信息技術(shù)產(chǎn)業(yè)發(fā)展專項資金基礎(chǔ)研究計劃項目(JCYJ20120614154203639)
【分類號】：TH811
【正文快照】： 0引言 都應(yīng)用在航空領(lǐng)域、汽車電子行業(yè)以及其他工業(yè)領(lǐng)域。諸微機電系統(tǒng)(micro-electro-mechanical system,MEMS)是 多其它試驗表明,溫度因素對電子產(chǎn)品的可靠性有很大影集執(zhí)行器和傳感器等微型裝置、微型機構(gòu)、微尺度驅(qū)動和控 響12]。振幅是掃描鏡的最重要性能參數(shù),本文首先

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本文編號：861616