本文關(guān)鍵詞：應(yīng)用五軸離子束修正超高陡度鏡面

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【摘要】：為了驗(yàn)證離子束修正超高陡度鏡面的能力,對(duì)采用五軸離子束加工超高陡度鏡面的問題進(jìn)行了分析研究和加工實(shí)驗(yàn)。根據(jù)現(xiàn)有檢測(cè)條件制定了實(shí)驗(yàn)方案并對(duì)面形數(shù)據(jù)進(jìn)行了處理;對(duì)超過機(jī)床五軸加工擺軸行程區(qū)域的駐留時(shí)間進(jìn)行了補(bǔ)償;建立了離子束五軸加工后置處理算法,根據(jù)該算法編制了數(shù)控程序生成軟件,并通過實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了生成的數(shù)控程序的正確性;最后進(jìn)行了超高陡度鏡面的五軸離軸加工實(shí)驗(yàn),經(jīng)過5輪迭代加工后,元件面形由初始的峰谷(PV)值為57.983 nm、均方根(RMS)值為9.406 nm,收斂PV值為11.616 nm、RMS值為1.306 nm,總收斂比達(dá)到7.20。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明:采用五軸離子束加工超高陡度鏡面的方案可行,并且獲得了較高的收斂效率和加工精度,同時(shí)驗(yàn)證了離子束離軸鏡加工的可行性。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所應(yīng)用光學(xué)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 光學(xué)制造 離子束 超高陡度 面形修正
【基金】：國家科技重大專項(xiàng)(2009ZX02205)
【分類號(hào)】：TH74
【正文快照】： 1引言離子束修形作為一種非接觸式光學(xué)加工方法,具有加工精度高、去除函數(shù)穩(wěn)定、面形收斂速度快、無邊緣效應(yīng)和亞表面損傷等特點(diǎn),廣泛應(yīng)用于超高精度光學(xué)元件的加工[1-3]。離子束修形同樣采用了現(xiàn)代光學(xué)制造領(lǐng)域廣為人知的計(jì)算機(jī)控制表面成型技術(shù)的基本理論,根據(jù)材料去除量精

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【相似文獻(xiàn)】

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