本文關(guān)鍵詞：大口徑平面面形絕對測量及重力影響分析

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【摘要】：為分析大口徑平面光學(xué)元件面形絕對測量的準(zhǔn)確度,補償重力引起的形變誤差,在分析基于奇偶函數(shù)法的三平面互檢算法的基礎(chǔ)上,利用3片準(zhǔn)300 mm口徑的待測平面鏡進行實驗測量分析。對于三平面互檢中不同裝夾方式下的重力引起鏡片形變情況進行有限元仿真分析,據(jù)此對測量數(shù)據(jù)進行修正并對最終面形結(jié)果進行補償,使測量結(jié)果更加逼近真實值。
【作者單位】： 中國工程物理研究院計量測試中心;
【關(guān)鍵詞】： 三平面互檢 絕對測量 奇偶函數(shù)法 重力變形 有限元分析
【分類號】：TH74;TP274
【正文快照】： 0引言數(shù)字波面干涉測量技術(shù)將光學(xué)干涉和數(shù)字計算技術(shù)相結(jié)合,可以實現(xiàn)高精度、快速、非接觸式和自動化測量,在慣性約束聚變(ICF)、空間遙感探測以及極紫外光刻(EUVL)等大型超精密光學(xué)系統(tǒng)工程中應(yīng)用廣泛[1-4]。激光平面干涉測量結(jié)果的準(zhǔn)確性受參考平面面形精度的制約,為了得到

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4 ;[J];;年期

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本文編號：855707