本文關(guān)鍵詞：原子力顯微鏡在材料器件工藝中的應(yīng)用

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【摘要】：介紹了原子力顯微鏡在碲鎘汞材料器件工藝測(cè)試方面的應(yīng)用。應(yīng)用其可以進(jìn)行磨拋后材料表面的粗糙度測(cè)試,接觸孔形貌,以及外延后襯底的表面形貌。通過(guò)合理的選擇掃描參數(shù)和探針,可以直觀得到樣品的表面形貌,接觸孔還可以得到孔的尺寸和孔底形貌。尤其在接觸孔測(cè)試方面,原子力的精度更高,抗干擾能力強(qiáng)且掃描結(jié)果更為直觀,準(zhǔn)確。本文通過(guò)對(duì)碲鎘汞材料器件工藝中不同類(lèi)型樣品測(cè)試的介紹,認(rèn)為原子力顯微鏡在碲鎘汞材料器件工藝測(cè)試中發(fā)揮了較大的作用。
【作者單位】： 華北光電技術(shù)研究所;
【關(guān)鍵詞】： 原子力顯微鏡 形貌 接觸孔
【分類(lèi)號(hào)】：TH742;TB302
【正文快照】： 1引言?huà)呙杷淼里@微鏡(STM)是1982年由國(guó)際商業(yè)機(jī)器公司蘇黎世實(shí)驗(yàn)室的葛·賓尼博士和�！ち_雷爾博士及其同事們共同成功研制的世界上第一臺(tái)新型表面分析儀器[1-2]。STM的工作原理是基于量子理論中的隧道效應(yīng),它測(cè)得的是樣品表面費(fèi)米能級(jí)附近的電子態(tài)密度,要求所觀測(cè)的樣品必須

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