發(fā)布時間：2017-09-12 16:15

  本文關鍵詞：MEMS三軸加速度計6位置標定方法的研究

  更多相關文章： MEMS加速度計 誤差補償 轉臺標定 數(shù)學模型

【摘要】：針對本課題組十二位置法測試時間長的問題,提出了MEMS三軸加速度計的6位置標定方法。首先建立了三軸加速度計的輸入輸出誤差模型,然后詳細介紹了6位置標定的位置編排和過程,給出了數(shù)學模型中標度因數(shù)、安裝誤差系數(shù)以及零偏值的計算方法,最后通過三軸轉臺實驗驗證了6位置標定方法的可行性及模型的準確性。結果表明6位置標定方法簡單可行,補償后精度能夠提高1~2個數(shù)量級,為其工程實用性奠定了理論基礎。
【作者單位】： 中北大學電子測試技術國防科技重點實驗室;中北大學儀器科學與動態(tài)測試教育部重點實驗室;
【關鍵詞】： MEMS加速度計 誤差補償 轉臺標定 數(shù)學模型
【基金】：山西省自然科學基金項目(2014011021-5)
【分類號】：TH824.4
【正文快照】： MEMS加速度計作為測量載體線加速度的慣性器件,在姿態(tài)測量、武器制導等軍事及民用領域有著廣闊的應用前景。其憑借體積小、重量輕、價格低、壽命長和易批量生產等優(yōu)點,在航空、航天、軍事等領域具有絕對的優(yōu)勢[1-3]。三軸加速度計作為慣性導航的核心器件,其性能和輸出數(shù)據的有

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據庫 前10條

1 熊壯;Mairiaux E;Walter B;Faucher M;Buchaillot L;Legrand B;;兩種基于MEMS諧振器的原子力顯微鏡探針[J];電子顯微學報;2014年02期

2 王建輝;MEMS封裝和微組裝技術面臨的挑戰(zhàn)[J];光機電信息;2002年04期

3 隋靈禾;戴旭涵;王佩紅;趙小林;;MEMS鎳平面彈簧非線性力學性能仿真及研究[J];微納電子技術;2010年12期

4 李華,石庚辰;MEMS平面微彈簧彈性系數(shù)的研究[J];探測與控制學報;2005年04期

5 Jon Titus;MEMS設計是科學與藝術的結合[J];電子產品世界;2004年24期

6 張健;李偉華;;基于力學描述的MEMS懸臂梁系統(tǒng)級動態(tài)模擬方法[J];傳感技術學報;2006年05期

7 胡春光,胡曉東,金翠云,栗大超,郭彤,傅星,胡小唐;MEMS動態(tài)測試中頻閃同步控制系統(tǒng)[J];天津大學學報;2005年01期

8 趙煥玲;代洪兵;;基于MEMS慣性技術的^頌遣飭課蟛畈鉤パ芯縖J];貴州科學;2012年01期

9 何光;石庚辰;;MEMS彈簧特性的有限元分析[J];微計算機信息;2006年35期

10 王曉東;王濤;李楠;劉夢偉;崔巖;王立鼎;;一種MEMS微結構諧振頻率的測試技術[J];傳感技術學報;2006年05期

中國重要會議論文全文數(shù)據庫 前2條

1 唐煒斌;徐利梅;黃大貴;李輝;;基于MEMS的一種微機械濾波器的分析[A];提高全民科學素質、建設創(chuàng)新型國家——2006中國科協(xié)年會論文集（下冊）[C];2006年

2 徐愛東;楊擁軍;盧新艷;;MEMS慣性器件的新進展及應用[A];2010’全國半導體器件技術研討會論文集[C];2010年

中國博士學位論文全文數(shù)據庫 前2條

1 王衛(wèi)東;面向MEMS設計的微流體流動特性研究[D];西安電子科技大學;2007年

2 田文超;MEMS及納米接觸研究[D];西安電子科技大學;2004年

，

本文編號：838228