本文關(guān)鍵詞：TOF-SIMS樣品光學(xué)成像系統(tǒng)設(shè)計

  更多相關(guān)文章： 成像系統(tǒng) Schwarzschild雙反射系統(tǒng) ZEMAX 飛行時間二次離子質(zhì)譜(TOF-SIMS)

【摘要】：本研究為飛行時間二次離子質(zhì)譜儀(TOF-SIMS)設(shè)計了一種具有高空間分辨率的樣品光學(xué)成像系統(tǒng)。該系統(tǒng)由一種改進(jìn)的Schwarzschild雙反射系統(tǒng)、45°反射鏡、變焦鏡頭及CCD圖像傳感器構(gòu)成。采用ZEMAX軟件對傳統(tǒng)Schwarzschild模型進(jìn)行計算和改進(jìn),得出系統(tǒng)優(yōu)化參數(shù)并進(jìn)行仿真驗證。仿真結(jié)果表明:系統(tǒng)最佳的成像分辨率達(dá)1μm,極限分辨率為0.4μm,RMS半徑小于艾里斑直徑,波像差滿足瑞利判據(jù),成像質(zhì)量良好。
【作者單位】： 吉林大學(xué)儀器科學(xué)與電氣工程學(xué)院;中國地質(zhì)科學(xué)院地質(zhì)研究所北京離子探針中心;
【關(guān)鍵詞】： 成像系統(tǒng) Schwarzschild雙反射系統(tǒng) ZEMAX 飛行時間二次離子質(zhì)譜(TOF-SIMS)
【基金】：國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項《同位素地質(zhì)學(xué)專用TOF-SIMS科學(xué)儀器》之任務(wù)二(2011YQ05006902)資助
【分類號】：TH843
【正文快照】： 2.中國地質(zhì)科學(xué)院地質(zhì)研究所,北京離子探針中心,北京102206)微區(qū)原位同位素分析方法是地球科學(xué)及宇宙空間科學(xué)中對鋯石以及宇宙塵埃樣品有效的技術(shù)分析手段[1]。二次離子質(zhì)譜儀(SIMS)作為高效的表面分析儀器,可以在樣品上數(shù)微米的范圍內(nèi)獲取精確的同位素和化學(xué)組成信息,是一種

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本文編號：827824