本文關(guān)鍵詞：一種基于PDMS的新型可調(diào)光柵

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【摘要】：傳統(tǒng)方法制作可調(diào)光柵,工藝條件苛刻,制作過程復(fù)雜且難以控制,制作成本高,周期較長,因此提出一種制作光柵的新方法。通過氧等離子體(PLASMA)方法,制作出微米尺度的光柵結(jié)構(gòu)。利用PLASMA時(shí)間的可控性和聚二甲基硅氧烷(PDMS)優(yōu)異的彈性,通過調(diào)控PLASMA的時(shí)間和PDMS的拉伸程度,制得所需尺寸的光柵。將制得的光柵薄膜沿著光柵柵線的方向拉伸,隨著柵線的伸長,光柵常數(shù)隨之減小,即可對光柵周期進(jìn)行連續(xù)、任意調(diào)諧,并獲得預(yù)定的目標(biāo)周期。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明,制作的光柵調(diào)諧范圍可達(dá)40%,并且調(diào)諧過程中光柵金屬保持完整,衍射角變化顯著,理論值與實(shí)驗(yàn)值基本一致,達(dá)到預(yù)期實(shí)驗(yàn)?zāi)康摹Ｔ撝谱骺烧{(diào)光柵的方法成本低,周期短,工藝過程簡單易控制,可廣泛應(yīng)用于微型光譜儀、掃描儀及光通信等領(lǐng)域。
【作者單位】： 中北大學(xué)電子測試技術(shù)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;中北大學(xué)儀器科學(xué)與動(dòng)態(tài)測試教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 氧等離子體 可調(diào)光柵 周期 光柵常數(shù)
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(91123016,51225504,51105345) 國家973計(jì)劃前期資助項(xiàng)目(2012CB723404)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 楊江濤陳萌康寧郭浩劉俊唐軍引言光柵作為一種非常重要的光學(xué)元件,被廣泛應(yīng)用于集成光路、光通信、光學(xué)互連、光信息處理、光學(xué)測量等領(lǐng)域中。與普通光柵相比,可調(diào)光柵可以通過改變周期選擇不同波長的光或?qū)⒛骋徊ㄩL的光偏轉(zhuǎn)不同的角度,因此廣泛應(yīng)用于微型光譜儀、掃描儀、光

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【共引文獻(xiàn)】

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【相似文獻(xiàn)】

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本文編號：825996