本文關鍵詞：高溫復合多層膜結(jié)構(gòu)傳感器的熱機械可靠性

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【摘要】：文中主要討論了應用于薄膜熱電偶溫度傳感器的復合多層膜結(jié)構(gòu)在高低溫熱沖擊條件下的熱機械可靠性。采用基于FEM有限元仿真方法的彈塑性模型,系統(tǒng)分析了由多層膜材料熱失配導致的界面復雜熱應力應變分布規(guī)律。定性給出了可能導致致命可靠性問題的應力集中區(qū)域及應變積累區(qū)域分布。與400℃溫度載荷相比,薄膜熱電偶溫度傳感器在1 200℃極限溫度下最大范密歇斯應力增大50%以上。同時當溫度載荷反復作用時,不僅多層膜結(jié)構(gòu)的過渡層受到嚴重破壞而且相鄰界面的內(nèi)部塑性形變越發(fā)嚴重,使與工作層相關連的界面成為可靠性薄弱區(qū)域。
【作者單位】： 上海中航商用航空發(fā)動機制造有限責任公司;上海交通大學電子信息與電子工程學院;
【關鍵詞】： 薄膜熱電偶 高溫熱沖擊 熱機械穩(wěn)定 von Mises應力
【基金】：國家重大專項(GO0300002)
【分類號】：TH811;TP212
【正文快照】： 0引言隨著動力工程對溫度測量要求的不斷提高以及動態(tài)旋轉(zhuǎn)、小間隙空間等極端測量環(huán)境日益增多,普通溫度傳感器已不能滿足基本需求。具備低維材料特性的薄膜溫度傳感器因為具有體積小、表面覆型能力高、快速響應、熱容量小和小時間常數(shù)等優(yōu)良特性,成為極端環(huán)境中的首選溫度傳

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本文編號：821282