用于大孔徑凸非球面檢測的部分補償透鏡的優(yōu)化設(shè)計
發(fā)布時間:2017-09-09 03:29
本文關(guān)鍵詞:用于大孔徑凸非球面檢測的部分補償透鏡的優(yōu)化設(shè)計
更多相關(guān)文章: 光學(xué)設(shè)計 部分補償透鏡 大孔徑凸非球面 彌散圓
【摘要】:針對部分補償法和子孔徑拼接技術(shù)對大孔徑凸非球面進行測量時,部分補償透鏡的優(yōu)化設(shè)計是關(guān)鍵技術(shù)之一,基于ZEMAX軟件對用于大孔徑凸非球面的部分補償透鏡進行了優(yōu)化設(shè)計,以波前斜率作為優(yōu)化目標(biāo),通過直接觀察彌散圓半徑對全口徑的光線進行優(yōu)化。設(shè)計結(jié)果表明,用結(jié)構(gòu)簡單的單片部分補償透鏡即可實現(xiàn)對大孔徑凸非球面的面形測量,在不同的子孔徑區(qū)域,部分補償系統(tǒng)在理想焦面處的彌散圓最大半徑均小于165μm,滿足設(shè)計要求,驗證了結(jié)合部分補償法和子孔徑拼接技術(shù)測量大孔徑凸非球面的可行性。
【作者單位】: 北京信息科技大學(xué)光電測試技術(shù)北京市重點實驗室;
【關(guān)鍵詞】: 光學(xué)設(shè)計 部分補償透鏡 大孔徑凸非球面 彌散圓
【分類號】:TN202;;O43
【正文快照】: 引言非球面元件因其特有的優(yōu)點[1-5]正越來越多地被用于航空、航天、軍事和民用等領(lǐng)域。在眾多應(yīng)用領(lǐng)域中,凸非球面元件是較為常用的核心部件。但凸非球面面形的測量一直是光學(xué)檢測中的難點,以往一般采用無像差點法對其進行測量,但這種方法只能檢驗二次曲面凸面,其優(yōu)點是設(shè)計,
本文編號:818022
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