發(fā)布時間：2017-09-08 17:06

  本文關鍵詞：正交柱面鏡像散位移測量方法的研究

  更多相關文章： 測量 正交柱面鏡 像散原理 矩陣光學

【摘要】：為了實現(xiàn)物體位移測量的高精度,無損傷和簡單化,對柱面鏡像散效應進行了研究,利用正交柱面鏡像散效應實現(xiàn)物體的位移測量。根據(jù)高斯光線追跡的矩陣方法,建立正交柱面鏡的矩陣光線傳播模型,并利用Zemax進行仿真驗證;給出了正交柱面鏡像散位移測量系統(tǒng)的矩陣傳播模型,并具體分析了系統(tǒng)的量程和分辨率;進行實驗驗證,在5.6 mm量程范圍內,實現(xiàn)了精度為200 nm的移位測量。該方法為位移測量提供了一種新的非接觸、高精度的光學測量方式。
【作者單位】： 中國科學院長春光學精密機械與物理研究所;中國科學院大學;
【關鍵詞】： 測量 正交柱面鏡 像散原理 矩陣光學
【基金】：中國科學院三期創(chuàng)新基金(YYYJ-1122) 總裝備部預研基金(51201060207)
【分類號】：TH822
【正文快照】： 1引言在工業(yè)生產,工程應用與科學研究領域,物體位移的高精度實時測量得到了越來越多的關注。按照測量方式,物體位移測量可以分為兩大類:接觸式測量與非接觸式測量。光學測量是一種十分重要的非接觸測量方式,并因其自身的非接觸、無損傷、高精度等優(yōu)點得到了廣泛應用[1-5]。光

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前6條

1 劉力雙;張銚;盧慧卿;王寶光;;基于CCD的玻璃厚度在線測量系統(tǒng)[J];傳感技術學報;2006年03期

2 王玉田;楊妮;;雙路補償法的玻璃厚度測量技術[J];傳感技術學報;2007年06期

3 宋晨;呂岑;郭琪;扈映茹;;一種激光外差多普勒玻璃厚度測量方法[J];光子學報;2008年08期

4 李金鵬;陳磊;烏蘭圖雅;楊鳴簫;周舒;朱榮剛;鄭東暉;;基于移相算法的玻璃應力延遲量快速測量方法[J];光學學報;2013年06期

5 劉強;王鳴;夏巍;李春成;郝輝;郭冬梅;;正弦相位調制型激光自混合干涉儀的實時位移測量技術[J];光學學報;2014年06期

6 張啟燦;蘇顯渝;;動態(tài)三維面形測量的研究進展[J];激光與光電子學進展;2013年01期

【共引文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 鄧春林;周鳳岐;蔡偉;張志利;;超窄帶梳狀濾波器固體腔的厚度測量方法研究[J];半導體光電;2010年04期

2 王玉田;楊妮;;雙路補償法的玻璃厚度測量技術[J];傳感技術學報;2007年06期

3 楊影;任立紅;丁永生;郝礦榮;;基于DSP的薄膜疵點在線檢測系統(tǒng)的設計與實現(xiàn)[J];傳感技術學報;2009年02期

4 李亞標;王寶光;李溫溫;;基于小波變換的圖像紋理特征提取方法及其應用[J];傳感技術學報;2009年09期

5 蘭羽;盧慶林;;儀表放大器在激光外差玻璃測厚系統(tǒng)中的應用[J];國外電子測量技術;2012年03期

6 蘭羽;呂岑;;PIN光電管在激光外差玻璃測厚系統(tǒng)中的應用[J];國外電子測量技術;2012年05期

7 蘭羽;盧慶林;;激光外差玻璃厚度測量系統(tǒng)檢測電路的設計[J];電子設計工程;2012年07期

8 蘭羽;盧慶林;;基于Filterlab的一種高指標帶通濾波器的設計[J];電子設計工程;2012年09期

9 董萍;徐熙平;林昭珩;徐曉丹;;基于CCD的石英玻璃管壁厚在線檢測系統(tǒng)研究[J];光學與光電技術;2009年01期

10 宋晨;呂岑;郭琪;扈映茹;;一種激光外差多普勒玻璃厚度測量方法[J];光子學報;2008年08期

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 李春艷;玻璃內應力高精度檢測技術的研究[D];中國科學院研究生院（西安光學精密機械研究所）;2014年

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 丁瑞;基于像散檢測原理的高溫玻璃厚度測量系統(tǒng)研究[D];燕山大學;2011年

2 叢赫曦;基于LD-CCD的玻璃厚度檢測技術的研究[D];燕山大學;2011年

3 閆璽;激光雙路對稱透射法對平板玻璃厚度測試的研究[D];燕山大學;2012年

4 申冬玲;基于線陣CCD的條紋計數(shù)器系統(tǒng)研究[D];中南大學;2007年

5 楊影;基于DSP的薄膜疵點在線檢測系統(tǒng)設計與實現(xiàn)[D];東華大學;2009年

6 孫健;基于線陣CCD回轉體尺寸測量技術的研究[D];長春理工大學;2009年

7 董萍;石英管壁厚光電在線檢測技術研究[D];長春理工大學;2009年

8 曹文嬌;基于虛擬儀器的可見光譜數(shù)據(jù)采集與處理系統(tǒng)[D];中南大學;2009年

9 楊程;基于CPLD技術的雙光路補償法玻璃測厚系統(tǒng)[D];燕山大學;2009年

10 黨茂輝;膏藥厚度均勻性在線檢測系統(tǒng)設計[D];華中科技大學;2009年

【二級參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 何勇,王娉婷,朱日宏,沈華;光學玻璃應力的自動測試[J];玻璃與搪瓷;2005年03期

2 楊健;我國浮法玻璃成形過程中影響質量和品種的一些因素[J];玻璃;1998年03期

3 劉力雙;張銚;盧慧卿;王寶光;;基于CCD的玻璃厚度在線測量系統(tǒng)[J];傳感技術學報;2006年03期

4 趙育良,王偉;基于CCD的航空相機平板玻璃厚度測量系統(tǒng)[J];傳感器技術;2003年01期

5 王興英，，常旭光;電容傳感式玻璃厚度測量儀[J];傳感器技術;1995年02期

6 黃戰(zhàn)華 ,蔡懷宇 ,李賀橋 ,張以謨;光線彎曲對激光測量熱鋼板厚度的影響[J];光電工程;2001年06期

7 黃戰(zhàn)華,蔡懷宇,李賀橋,張以謨;三角法激光測量系統(tǒng)的誤差分析及消除方法[J];光電工程;2002年03期

8 張啟燦,蘇顯渝,李勇,曹益平,陳文靜,向立群;高速旋轉物體的頻閃結構光三維面形測量系統(tǒng)[J];光電工程;2004年08期

9 肖焱山;蘇顯渝;張啟燦;李澤仁;;采用標記條紋跟蹤的沖擊過程三維輪廓術[J];光電工程;2007年08期

10 任偉鋒;蘇顯渝;向立群;;雙頻光柵用于動態(tài)過程破裂表面的三維重建[J];光電工程;2010年03期

中國博士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前1條

1 張啟燦;動態(tài)過程三維面形測量技術研究[D];四川大學;2005年

【相似文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前10條

1 郭培基,余景池,張峰,王權陡,劉國淦;單晶硅柱面反射鏡的檢測[J];激光雜志;2000年03期

2 郭培基,余景池,張峰,王權陡,劉國淦;柱面鏡組的計算機輔助調校[J];光學技術;2000年04期

3 劉尊愚;小凸柱面鏡的加工[J];光學工藝;1978年04期

4 陳大祥;;小半徑柱面鏡光學加工工藝研究[J];應用光學;2012年03期

5 楊力;;柱面鏡磨制的幾個問題[J];光學工程;1974年01期

6 王寶林;付春宏;劉錄;;合成孔徑雷達柱面鏡的研制[J];光學機械;1988年05期

7 李小燕;張耀明;谷偉;匡蕘;;一種撓曲柱面鏡組聚光性能試驗研究[J];太陽能學報;2012年03期

8 魏國華;柱面鏡加工中母線偏差的校正[J];光學技術;1986年01期

9 ;光學鏡頭、光學零部件[J];中國光學與應用光學文摘;2001年03期

10 肖艷芬;朱菁;楊寶喜;胡中華;曾愛軍;黃惠杰;;用于光刻機照明均勻化的微柱面鏡陣列設計[J];中國激光;2013年02期

中國重要會議論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 徐德衍;;柱面鏡的實用定量檢測和現(xiàn)代計算全息干涉檢測[A];第十二屆全國光學測試學術討論會論文（摘要集）[C];2008年

2 徐德衍;;角錐棱鏡和柱面鏡技術表述與檢測的某些說明[A];第十三屆全國光學測試學術討論會論文（摘要集）[C];2010年

中國碩士學位論文全文數(shù)據(jù)庫 前2條

1 傅龍華;柱面鏡裝校技術與絕對檢驗研究[D];南京理工大學;2006年

2 崔金迪;光束整形異形元件的加工工藝研究[D];長春理工大學;2014年

本文編號：815236