發(fā)布時間：2017-09-08 04:13

  本文關(guān)鍵詞：壓電陶瓷驅(qū)動FSM三自由度柔性支撐設(shè)計

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【摘要】：為了有效吸收反射鏡偏轉(zhuǎn)造成驅(qū)動點的橫向位置偏差,保護壓電陶瓷驅(qū)動器,抑制反射鏡在非工作方向上的自由度,提高系統(tǒng)諧振頻率,設(shè)計了基于壓電陶瓷驅(qū)動的快速反射鏡三自由度柔性支撐。首先根據(jù)壓電陶瓷驅(qū)動的快速反射鏡對柔性支撐的設(shè)計要求確定了由支撐桿與支撐片組成的三自由度四周式柔性支撐方案,再利用壓桿穩(wěn)定性理論與變形能法對支撐桿與支撐片進行參數(shù)設(shè)計,最后利用workbench對設(shè)計結(jié)果進行分析。有限元分析結(jié)果表明,直徑1 mm、長度8 mm的柔性支撐桿的應(yīng)用可以使壓電陶瓷的剪切位移減少86.7%,柔性支撐片的應(yīng)用使反射鏡一階模態(tài)為軸向平移振動,諧振頻率為360 Hz,二三階模態(tài)為反射鏡兩軸偏擺振動,諧振頻率為420 Hz,而高階模態(tài)在1 000 Hz以上。三自由度柔性支撐可以有效防止壓電陶瓷受到剪切破壞,提高快速反射鏡結(jié)構(gòu)諧振頻率,有利于提高系統(tǒng)閉環(huán)帶寬。
【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所;激光與物質(zhì)相互作用國家重點實驗室;中國科學(xué)院大學(xué);
【關(guān)鍵詞】： 快速反射鏡 四周式柔性支撐 支撐桿 支撐片 壓電陶瓷
【基金】：長春市科技計劃(2013270)
【分類號】：TH74
【正文快照】： 0引言快速反射鏡[1-4](Fast Steering Mirror,FSM)是快速精確控制光束的裝置,由于其具有響應(yīng)速度快、工作帶寬高、控制精度高等優(yōu)點,被廣泛應(yīng)用于自由空間光通信[5]、激光雷達系統(tǒng)[6]、激光加工系統(tǒng)[7]、光電經(jīng)緯儀[8]等領(lǐng)域,近年來成為國內(nèi)外研究的熱點。快速反射鏡主要由基

【參考文獻】

中國期刊全文數(shù)據(jù)庫 前7條

1 魯亞飛;范大鵬;范世s，

本文編號：811804