發(fā)布時間：2017-09-08 01:27

  本文關(guān)鍵詞：近紅外譜域顯微干涉儀的位移傳感特性研究

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【摘要】：為研究近紅外譜域顯微干涉儀在近紅外波段的位移傳感特性,分析了條紋載頻對位移量提取的影響,建立了測量光譜中心波長與干涉儀位移傳感范圍之間關(guān)系公式,討論了光源可見光分量對近紅外光柵光譜儀所記錄條紋的串?dāng)_現(xiàn)象并提出抑制方法。構(gòu)建近紅外邁克爾遜型譜域顯微干涉實驗系統(tǒng),單次測量位移量傳感精度優(yōu)于0.02μm。測量標(biāo)準(zhǔn)臺階板的臺階高度(其標(biāo)稱值為7.732μm),測量偏差為0.044μm。采用近紅外譜域顯微干涉裝置,無需軸向掃描即可實現(xiàn)位移量測量,將光譜儀記錄的譜域干涉信號轉(zhuǎn)換為隨波數(shù)線性變化信號處理能有效提高位移傳感精度,增大中心波長能夠有效提高位移傳感范圍,在系統(tǒng)中加入短波截止濾光片則能有效抑制可見光分量對近紅外光譜域條紋造成的串?dāng)_。
【作者單位】： 南京理工大學(xué)電子工程與光電技術(shù)學(xué)院;南京理工大學(xué)協(xié)同創(chuàng)新中心;
【關(guān)鍵詞】： 測量 干涉測量 位移量傳感 近紅外 譜域分析
【基金】：國家自然科學(xué)基金(U1231111);國家自然科學(xué)基金青年基金(61505082) 江蘇省自然科學(xué)基金(SBK2015041354)
【分類號】：O436.1;TH744.3
【正文快照】： 0引言隨著機(jī)械制造、光學(xué)元件加工、電子工業(yè)等領(lǐng)域的發(fā)展,對光學(xué)元件輪廓、幾何尺寸以及表面形貌等測量工作的要求越來越高,各式各樣的位移傳感技術(shù)也應(yīng)運(yùn)而生。根據(jù)測量探頭工作形式,位移傳感技術(shù)主要分為接觸式和非接觸式兩種。接觸式位移傳感技術(shù)測量過程中,由于測量力的，

本文編號：811071