本文關(guān)鍵詞：近紅外譜域顯微干涉儀的位移傳感特性研究

  更多相關(guān)文章： 測(cè)量 干涉測(cè)量 位移量傳感 近紅外 譜域分析

【摘要】：為研究近紅外譜域顯微干涉儀在近紅外波段的位移傳感特性,分析了條紋載頻對(duì)位移量提取的影響,建立了測(cè)量光譜中心波長(zhǎng)與干涉儀位移傳感范圍之間關(guān)系公式,討論了光源可見(jiàn)光分量對(duì)近紅外光柵光譜儀所記錄條紋的串?dāng)_現(xiàn)象并提出抑制方法。構(gòu)建近紅外邁克爾遜型譜域顯微干涉實(shí)驗(yàn)系統(tǒng),單次測(cè)量位移量傳感精度優(yōu)于0.02μm。測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)臺(tái)階板的臺(tái)階高度(其標(biāo)稱(chēng)值為7.732μm),測(cè)量偏差為0.044μm。采用近紅外譜域顯微干涉裝置,無(wú)需軸向掃描即可實(shí)現(xiàn)位移量測(cè)量,將光譜儀記錄的譜域干涉信號(hào)轉(zhuǎn)換為隨波數(shù)線(xiàn)性變化信號(hào)處理能有效提高位移傳感精度,增大中心波長(zhǎng)能夠有效提高位移傳感范圍,在系統(tǒng)中加入短波截止濾光片則能有效抑制可見(jiàn)光分量對(duì)近紅外光譜域條紋造成的串?dāng)_。
【作者單位】： 南京理工大學(xué)電子工程與光電技術(shù)學(xué)院;南京理工大學(xué)協(xié)同創(chuàng)新中心;
【關(guān)鍵詞】： 測(cè)量 干涉測(cè)量 位移量傳感 近紅外 譜域分析
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金(U1231111);國(guó)家自然科學(xué)基金青年基金(61505082) 江蘇省自然科學(xué)基金(SBK2015041354)
【分類(lèi)號(hào)】：O436.1;TH744.3
【正文快照】： 0引言隨著機(jī)械制造、光學(xué)元件加工、電子工業(yè)等領(lǐng)域的發(fā)展,對(duì)光學(xué)元件輪廓、幾何尺寸以及表面形貌等測(cè)量工作的要求越來(lái)越高,各式各樣的位移傳感技術(shù)也應(yīng)運(yùn)而生。根據(jù)測(cè)量探頭工作形式,位移傳感技術(shù)主要分為接觸式和非接觸式兩種。接觸式位移傳感技術(shù)測(cè)量過(guò)程中,由于測(cè)量力的，

本文編號(hào)：811071