本文關(guān)鍵詞：基于Zemax干涉儀建模的環(huán)形光源誤差分析

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【摘要】：目前影響高精度干涉儀測(cè)量精度的一個(gè)重要因素是系統(tǒng)的相干噪聲,為了提高干涉檢測(cè)精度,必須抑制系統(tǒng)的相干噪聲。環(huán)形光源作為一種抑制相干噪聲的有效手段已被廣泛應(yīng)用工程實(shí)踐。本文利用Zemax干涉儀建模分析了環(huán)形光源不同環(huán)半徑對(duì)干涉測(cè)量精度影響,并分析了在一定環(huán)半徑下,隨著干涉腔長(zhǎng)的增加,對(duì)干涉測(cè)量結(jié)果的影響。仿真分析結(jié)果表明,隨著環(huán)形光源環(huán)半徑的增加,干涉測(cè)量結(jié)果的系統(tǒng)誤差增大,在同一環(huán)半徑下,隨著干涉腔長(zhǎng)的增加,干涉測(cè)量的系統(tǒng)誤差增大。
【作者單位】： 中國(guó)科學(xué)院光電技術(shù)研究所;
【關(guān)鍵詞】： 環(huán)形光源 相干噪聲 誤差分析
【基金】：國(guó)家自然科學(xué)基金資助項(xiàng)目(61108045)
【分類號(hào)】：TH744.3
【正文快照】： 0引言當(dāng)前,系統(tǒng)的相干噪聲是影響高精度干涉儀測(cè)量精度的重要因素。相干噪聲主要是由于光學(xué)元件的缺陷(如灰塵、凹陷、傷痕和氣泡等)引起的不期望的反射和衍射形成的干涉條紋如“牛頓環(huán)”或“靶心”[1-2]。這種相干噪聲會(huì)導(dǎo)致干涉圖像質(zhì)量下降,降低系統(tǒng)傳遞函數(shù),從而影響測(cè)量

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【相似文獻(xiàn)】

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