本文關(guān)鍵詞：寬響應(yīng)范圍的MEMS熱電偶真空度傳感器

  更多相關(guān)文章： 熱電偶 真空度 雙層多晶硅 微電子機械系統(tǒng)(MEMS) 靈敏度

【摘要】：報道了一種基于雙層多晶硅材料的MEMS熱電偶真空度傳感器。該器件采用雙層熱偶排布方式可進一步減小器件橫向尺寸,同時采用XeF_2各向同性正面刻蝕技術(shù)釋放形成微腔結(jié)構(gòu),該技術(shù)避免了濕法腐蝕工藝復(fù)雜、不易控制等缺陷。在器件制備的基礎(chǔ)上,對該器件在不同真空度條件下的響應(yīng)特性進行了測試,測試結(jié)果表明該器件在常溫下的真空響應(yīng)上限達10~5 Pa。而不同加熱功率條件下,該器件的響應(yīng)靈敏度隨著加熱功率的增大呈增大趨勢。
【作者單位】： 中北大學(xué)電子測試技術(shù)國防科技重點實驗室;中國科學(xué)院微電子研究所智能感知研發(fā)中心;江蘇物聯(lián)網(wǎng)研究發(fā)展中心智能集成傳感器工程中心;
【關(guān)鍵詞】： 熱電偶 真空度 雙層多晶硅 微電子機械系統(tǒng)(MEMS) 靈敏度
【基金】：國家自然科學(xué)基金資助項目(61401458,61335008,61136006,51205373) 江蘇省自然科學(xué)基金資助項目(BK20131098) 河南省科技開放合作項目(132106000073)
【分類號】：TH811;TP212
【正文快照】： (MEMS);sensitivity0引言真空度傳感器被廣泛應(yīng)用于電子、航空航天、化工、可控?zé)岷司圩兗氨砻嫖锢硌芯康阮I(lǐng)域[1-2]�；跓犭娕荚淼恼婵斩葌鞲衅魇且环N應(yīng)用較為廣泛的真空計,因其響應(yīng)范圍寬、靈敏度高及功耗低等特點而受到關(guān)注[3-4]。熱電偶真空度傳感器是一種熱導(dǎo)型真空度

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本文編號：800400